Полировальный состав
Патент 939514
Авторы
Классы МПК
Полировальный состав
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик 339514 (6l ) Дополнительное к авт. свмд-ву(22) Заявлено 30. 04. 80 (21) 2920072/23-05 с присоединением заявки М (23) Прмормтет(5 } ) M. Кл.
С 09 G 1/02
9кударвти«афй кам«твт
-СССР
«е д«лам «звбретв«««
«етврмт««
Опубликовано 30. 06. 82. бюллетень М 24
Дата опубликования опмсанмя 30.06.82 (53) УДК 621.921 (088,8). (72) Авторы изобретемия ьева -
l3 „"
В,В.Бабаков, В.С.Григорьев и Э.В.Григ (7!) Заявитель (54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ
Изобретение относится к химикомеханической обработке и может быть использовано для уменьшения шероховатости обрабатываемой поверхности металлических прецизионных деталей.
Известен полировальный состав, содержащий жидкую основу и абразивные вещества, которые являются твердыми частицами определенного размера, например микропорошок электрокорунда (1).
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемэму является полировальный состав (2), содержащий, вес.Ф:
Карбид кремния 10-40
Нитрит натрия 0,5-1,0
Вода 54-74,5
Пемза 5-15
Однако используемые в полировальных суспензиях жидкие основы, как прарило, является довольно слабыми химическими реагентами. Поэтому основной упор действия суспензии дела,ется на абразивные частицы (з данном случае карбид кремния и пемза ), т. е. преобладает механическое воздействие
5 из всей совокупности физико-химических процессов. Но при использовании в полировальных композициях абразивных частиц из твердых материалов при обработке металлической поверхности прецизионных деталей, в частности воспринимающих элементов металлопленочных датчиков физических величин, появляются микроцарапины, риски, а также возможно шаржирование поверхности, т.е. внедрение абразивных частиц в нее, кроме того, появляется тепловое воздействие (за счет тренияу на обрабатываемую поверхность, что ао приводит к структурно-фазовым изменениям в верхнем слое поверхности прецизионных деталей. Структурная нестабильность поверхности микроцарапины и рис20
2 кислота 1 1,5
0,8 1
0,4 0,5 ,0,8 1
Фосфорная
Глицерин
Синтанол
Вода
Полировальный состав
Риски, царапины
Известный
Имеются риски и.микроцарапины неисчезающего характера при освещении
0,050 — 0,025
Предлагаемый
0,025 - 0,012
3 93951 ки на ней, внедрение посторонних частиц в дальнейшем отрицательно сказываются нри формировании микросхем в процессе изготовления, например, металлопленочных датчиков физических величин.
Цель изобретения — повышение качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до -70 С.
Для достижения указанной цели полировальный состав для обработки металлической поверхности прецизионных изделий, включающий жидкую основу и абразивные частицы, в качестве жидкой основы содержит фосфорную кислоту, глицерин, продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10-16 атомами углерода (синтанол) и в качестве абразива — частицы льда при следующем соотношении компонентов, o6,ч:
Фосфорная кислота 1- 1,5
Глицерин О, 8-1
Синтанол 0,4-0,5
Частицы льда 0,8-1
Фосфорная кислота усиливает химическое воздействие на обрабатываемую поверхность, образуя, помимо окисной пленки, фосфаты с составными компонентами обрабатываемой метал- щ лической поверхности.
Глицерин увеличивает вязкость образующейся пленки из продуктов химического и механического воздействия на обрабатываемую поверхность, обес- печивая тем самым большую степень сглаживания неровностей обрабатывае мой поверхности.
Синтанол, являясь поверхностноактивным веществом, усиливает дейст4 (I вие адсорбционных процессов, кото1
4 4 рые обусловливают уменьшение твердости обрабатываемой поверхности и спо собствуют пластическому течению обрабатываемого материала.
Абразивные частицы, полученные замораживанием воды, имеют в зависимости от температуры замерзания разную твердость. Это позволяет обеспечивать требуемое механическое воздействие на обрабатываемую поверхность, исключая образование микроцарапин, рисок и шаржирование поверхности, так как острые углы частиц льда при взаимном давлении на обрабатываемую поверхность оплавляются.
Кроме того, за счет минусовой температуры самой полировальной суспензии исключается местный нагрев поверхностного слоя обрабатываемой поверхности.
Для обработки металлической поверхности (сталь 36НхТЮ), например воспринимающего элемента металлопленочного датчика физических величин, готовят две полировальные сус» пензии, об.ч:
Каждую из этих композиций замораживают при температуре жидкого азота (-196 С), и обработку ведут при периодическом охлаждении обрабатываемой поверхности (температура при этом может варьировать от -70 до -10 C) °
Полученные результаты приведены в таблице (использован профилометр мод.201 завода "Калибр" ).
Качество поверхности
Параметр шероховатости, мкм, 939514
0,4-0,5
0,8-1
Формула изобретения
Составитель .Л.Чижова
Редактор Л.филь Техред М. Гергель Корректор М. Коста
Заказ 4593/38 Тираж 661 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета CCCP по делам изобретений и открытий
113035, Москва,Ж-35, Раушская наб,д.4/5
Ю
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4.
Из таблицы сравнения видно, что при использовании предлагаемого полировального состава повышается качество обрабатываемой поверхности.
Использование предлагаемого полировального состава при обработке металлической поверхности прецизионных деталей обеспечивает по сравнению с известными повышение качества обрабатываемой поверхности за счет отсут- 10 ствия рисок, микроцарапин и ее шаржирования, а также уменьшение ее шероховатости; исключение теплового воздействия на обрабатываемую поверхность, приводящее к появлению струк- 1$ турной нестабильности s верхнем слое поверхности.
Полировальный состав для обработки металлической поверхности прецизионных изделий, включающий жидкую основу и абразив, о т л и чающий- 2$ с я тем, что, с целью повышения качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до -70, в качестве жидкой основы состав содержит фосфорную кислоту, глицерин и продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10- 16 атомами углерода и в качестве абразива - частицы льда при следующем соотношении компо" нентов, об.ч:
Фосфорная кислота ., 1-1,5
;Глицерин 0,8-1
Продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 1016 атомами углерода
Частицы льда
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
И 466272, кл. С 09 G 1/02, 1972.
2. Авторское свидетельство СССР
М 711082, кл. С 09 G 1/02, 1978 (прототип).