Способ изготовления трафаретной печатной формы

Способ изготовления трафаретной печатной формы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(11) ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свпд-ву— (22) Заявлено 04.10.80 (21) 2989590 28-12 (51) М.1:,л. В 41 С 1/14 с присоединением заявки—

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (2 ) Приоритет— (43) Опубликовано 07.07.82. Бюллетень М 25 (5ь) УДli 655.22 (088.8) (45) Дата опубликования описания 07.07.82 (72) Авторы изобретения

В. М. Абдусаламов и Л. С. Васильева (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ

ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ

Предлагаемое изобретение относится к технологии производства трафаретных печатных форм, используемых при изготовлении печатных плат и микросхем.

Известен способ изготовления трафаретной печатной формы, заключающийся в нанесении на металлическую сетку светокопировальной композиции, экспонировании, проявлении, заполнении ячеек сетки в пробельных местах путем нанесения на эти места электропроводного слоя, электролитического наращивания металла и удаления заполимеризовавшейся композиции из ячеек сетки в печатных элементах (1).

Недостатком такого способа является длительность процесса электролитического наращивания металла, что увеличивает рабочий цикл получения готовых трафаретов.

Известен также способ изготовления трафаретной печатной формы, предусматривающий нанесение на предварительнЬ подготовленную сетку слоя фоторезиста таким образом, чтобы он располагался преимущественно в отверстиях сетки, совмещении заготовки с фотошаблоном и копировании в ультрафиолете с последующим проявлением и промывкой (21.

При использовании этого способа получают изображение, негативное к рисунку изготавливаемой трафаретной формы. На полученную негативную трафаретную фор5 му с внешней стороны (по отношению к раме) накатывают в защитную пленку. Обезжиривают и декапируют ее с внутренней стороны и закрывают отверстия стенки пробельных мест заполнением их легкоплавким сплавом, снимают защитную пленку, раздубливают фотополимерный слой, получают позитивную трафаретную форму.

Этот способ в сравнении с первым существенно сокращает время изготовления трафаретной печатной формы, а также повышает ее качество, которое, однако, является недостаточно высоким, поскольку

20 не обеспечивает в некоторых случаях необходимую точность печатания рисунка микросхем. Основной причиной этого является то, что при заполнении ячеек сетки легкоплавким сплавом последний, затекая

25 под слой фотополимера и переплетения сетки по краю рисунка, приводит к его неровности.

Таким образом, целью предлагаемого изобретения является повышение качества трафаретной печатной формы.

941212

Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления трафаретной печатной формы, включающем нанесение на предварительно натянутую и обезжиренную металлическую сетку фотополимера, экспонирование изображения, его проявление, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом и удаление оставшегося фотополимера, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом осуществляют перед нанесением на сетку фотополпмера, а после проявления изображения производят травлеши-. легкоплавкого сплава в незащищенных фотополимером местах.

На чертеже показана последовательностьь операций способа.

Металлическую сетку натягивают на раму. Затсм обсзжнривают в течение

30 мин в 20%-ном растворе щавелевой кислоты, промывают проточной водой и нейтрал изу ют оставшиеся следы кислоты

5",о-ным раствором аммиака, снова промывают и сушат (см. чертеж а).

После этого заполняют отверстия сетки сплавом олова, например ПОС нли Розе путем горячего обслуживания, получают пластину (см. чстеж 61. Затем при температуре 95+ 5 С наносится слой фотополимера, выдерживают заготовку при неактиничном освещении для выравнивания внутренних напряжений и улучшения адгезии фотополимера к поверхности пластины, На полученную поверхность заготовки экспонируют через фотошаблон изображение ультрафиолетовым источником света.

После облучения заготовку выдерживают при нсактинич roM освещении 20 —30 мин для завершения реакции полимеризации.

Далее получают изображение на пластине проявлением в растворе метилхлороформа в течение 1 — 1,5 мин до появления четких контуров рисунка с последующей промывкой и сушкой при комнатной температуре (см. чертеж в).

Затем протравливают легкоплавкий сплав в незащищенных фотополимером местах в водном растворе перекиси водорода и борфторводородной кислоты, промывают и сушат (см. чертеж г).

После чс.о удаляют фотопо IHмер хлорпст.1м метилсном, промывают, сушат н нолучают позитивную трафаретную печатную

11орму (см. чертеж д).

5 Изготовленный таким способом трафарет имеет более ровные и четкие края изображения по сравнению с трафаретом, изго-.овленным по 11звестному способу, Iioскольку фотополнмер наносится в этом слу1п t. е на относительно гладкую пластину., получспнуlo 11 результате занолцсьп1я ячеек сет1;и легкоплавким сн ialtoM.

На предприятии-заявителе проведспа отработка технологии предлагаемого способы. В качестве основы трафарета была взята металлическая тканая сетка ¹ 004 из нержавеющей стали с размером ячеек

0068 мм. В качестве фотополимсра использовался сухой пленочный фоторезисг (СПФ-2-40) на полиэтслентсрсфталатной основе.

Опробованне предлагаемого способа

ПО itBt pждаст дост11жсн11е цел11 II300pcTcпня, 25

Формула изобретения

Способ изготовления трафаретной печатной формы, включающий нанесение нo

30 предварительно натянутую и обезжиренну1о металлическую сетку фотополимера, экспонированнс изображения, его проявление, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом и удаление оставшегося фотополимс35 ра, отличающийся тем, что, с цсль1о повышения качества изготавливаемой печатной формы, заполнение ячеек сетки легкоплавким сплавом осуществляют перед нанесением на сетку фотополимера, а после

40 проявления изображения проводят травление легкоплавкого сплава в незащищенных фотополимером местах. (Источники информации, принятые во

45 вш1мание при экспертизе:

1, Зоткин К. И. и др. Трафаретная печать. М., «Мысль», 1965.

2. Авторское свидетельство СССР . а 7?5907, кл. В 41 С 1/14, 1978 (протот.1п) . 941212 Составитель В. Юсков

Техред В. Рыбакова

Корректор С. Файн

Редактср Г. Прусова

Тип. Харьк, фня. пред. «Патент»

Заказ 64r/495 Изд. № 172 Тираж 393 Подпнсное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5