Устройство для измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках

Устройство для измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсиик

Социалистические

Республик

< 942144 (61 ) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 18.06.80 (23) 2967161/18-24 с присоединением заявки М (23) R риоритет

Опубликовано 07.07.82. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 09.07.82 (5I)M. Кл.

Gll С 11/14 Ъеудеротеекеый комитет

СССР ав делом изобретений и аткрыти» (53) УЙК 681. .327.66 (088. 8) В. Г. Епанчинцев, Б. И. Журба, Н. К. Нюнько, Н. Н. Силантьев, Б. С. Суровов, В. Г. Тугарин, И. В. Шелухин и А. А. Шибаев (72) Авторы изобретения

{7!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРИОДА СТРАЙП-СТРУКТУРЪ|

В ДОМЕНОСОДЕРЖАШИХ ПЛЕНКАХ

Изобретение относится к вычислительной технике и предназначено, в част ности, для измерения периода страйпструктуры эпитаксиальных феррит-гранатовых ппенок в процессе производства

ЗУ на пилин пических магнитных доменах.

Известны устройства, содержащие поляризатор и анализатор дпя наблюдения доменной структуры ортоферритов (1) .

Недостаток известных устройствони не могут быть использованы для измерения периода страйп-структуры тонких феррит-гранатовых слоев.

Наиболее близким к предлагаемому по техническому решению явпяется устрой, ство для измерения магнитных характеристик пленок редкоземельных феррогранатов, которое содержит источник света, поляризатор, анализатор, генератор импульсов и катушку возбуждения. 20

Измерение периода стра йп-структуры основано на распрямлешти лабиринтной структуры образца пленки с помощью генератора импульсов и катушки возбуждения, отсчета оператором числа страйпов с помощью окуляр-микрометра на единицу длины и последующего расчета периода страйп-структуры 121 .

Однако в этом устройстве результат измерения полностью зависит от субъек- жвных качеств оператора и требует последующего расчета, что снижает точность и быстродействие устройства, Цель изобретения — повышение быстродействия и точности устройства.

Указанная цель достигается тем, что устройство для измерения периода страйпструктуры в доменосодержащих пленках, содержащее оптически связанные источник света, псаяукзатор, анализатор и фотощетемник, выход которого подключен через предварительный усилитель к усилителю-форьярователю, блок формирования полосовой структуры, соединенный с узлом генерации магнитного псая, видеоконтрольный и пифропечатаюший блоки, дополнительно содержит формирователь сигналов измерительных визиров, два

3 9421 триггера, три элемента Й, четыре счетчика, блок сравнения кодов, делитель частоты, смеситель и генератор опорной частоты, выход которого подключен х первым BxogBM первого и второго эл е 5 ментов И, выход первого триггера подюпочен к второму входу второго элемента И, второму входу первого счетчика и первому входу второго триггера, выход которого соединен с вторым входом 1О первого элемента И, выход которого подключен к первому входу второго счетчика и через делитель частоты — к второму входу третьего счетчика, первый вход которого соединен с выходом вто- 15 рого элемента И, а выход подключен че-. рез третий элемент И к второму входу второго триггера и второму входу цифропечатаюшего блока, выходы первого и вто. рого счетчиков подключены к соответст- ро вуишшм входам блока сравнения кодов, выход которого подключен к второму входу второго счетчика и входу четвертого счетчика, выход которого подключен к первому входу цифропечатаюшего блока, 35 вход первого триггера подключен к выходу формирователя сигналов измерительных визиров, вход видеоконтрольного блока подключен к выходу смесителя, вход которого соединен с выходом форми- зо рователя сигналов измерительных. визиров.

На чертеже приведена структурная схема устройства для измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках.

Устройство содержит источник 1 света, поляризатор 2, образец феррит-грапатовой пленки 3, анализатор 4, фотоприемник 5, блок 6 формирования полосовой структуры, узел 7 генерации магнитного поля, предварительный усилитель

8, усилитель-формирователь 9, счетчики

10 — 13, смесятель 14, видеоконтрольный блок 15, формирователь 16 сигна» лов измерительных визиров, пифропечатаюший блок 17, генератор 18 опорной частоты, элементы И 19 — 21, делитель 22 частоты, триггеры 23 и 24, блок 25 сравнения кодов.

Измерения проводятся при помощи магнитооптического эффекта Фарадея.

С помощью узла 7 генерации магнитного поля и блока 6 формирования лабиринтная структура феррит-гранатовой 55 пленки 3 преобразуется в полосовую.

Пучок света с источника 1 проходит через поляризатор 2, образец 3, анализатор

44 4

4 и попадает на фотоприемник 5. С выхода фотоприемника электрический сигнал от полосовой страйп-структуры усиливается предварительным усилителем 8, затем формирователь 9 выделяет полезный сигнал из полного сигнала и преобразует видеосигнал в цифровую форму. С выхода усилителя-формирователя 9 видеосигнал в шще серии импульсов поступает на вход счетчика 10 и через смеситель 14 выводится на экран видеоконтрольного блока 15. На экране формируется увеличенное изображение феррит-гранатовой пленки в виде чередующихся черных и белых полос. С помощью формирователя 16 и смесителя 14 на экране видеоконтрольного устройства формируются измерительные визиры. Перед началом измерения оператор перемешает визиры на измеряемый участок увеличенного изображения феррит-гранатовой пленки. По команде

ПУСК с формирователя 16 выдается импульс, соответствующий одному из визиров, который поступает на счетный вход трптера 23 и устанавливает его в состояние "1». Разрешаюший уровень с выхода триггера 23 открывает вход счетчика 10. Одновременно этот уровень через элемент И 20 разрешает прохождение импульсов с генератора 18 опорной частоты на суммирующий вход счетчи ка 12. По импульсу с формирователя

16, соответствующему второму измерительному визиру, триггер 23 возвращается в исходное состояние .и запрещает работу счетчиков 10 и 12, в которых зафиксировано число импульсов, пропорциональное соответственно числу страйпов и линейному размеру между визира-. ми. При сбросе триггера 23 происходит установка в состояние "1" триггера 24, уровень с выхода которого пропускает через элемент И 19 импульсы с генератора 18 на вход счетчика 11 и через депитель 22 на вычитаюший вход счетчика 12. При равенстве обратного кода счетчика 10 и кода счетчика 11 блок

25 сравнения каждый раз выдает импульс, который сбрасывает счетчик 11 и увеличивает содержимое счетчика 13 на единицу. Так продолжается до полного вычитания счетчика 12, который через элемент И 21 сбрасывает триггер 24. (одновременно импульс с элемента 21 разрешает передачу результата измерения из счетчика 13 в цифропечатаюший блок 17. Перевод относительной величины количества импульсов, укладывающихся

5 0421 между визирами, в абсолютную величину, линейного размера производится путем задания коэффщиента деления делителя

22 частоты. В .конце измерения в счет чике 13 находится результат деления линейного размера участка страйп-структуры, заключенного между измеритель ными визирами, на количество страйпов, укладываюшихся в данном линейном размере. о

Эффективность предлагаемого устройства состоит в том, что повышается быстродействие и точность за счет автоматизации определения пе жода страйт структуры и исключения субъективных 1% ошибок оператора при отсчете числа страйпов с помощью окуляр-микрометра.

Формула изобретения щ

Устройство дпя измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках, содержащее оптически связанные источник света, поляризатор, анализатор и фотоприемник, выход которого под- ключен через предваритепьный усилитель к усйшитепю-формирователю, блок форми- рования попосовой структуры, соединенный с узпом генерации магнитного поля, видеоконтрольный и цифропечатаюшнй бпоки, 30 о т л и ч а ю ш е е cятем,,что, с цепью новышення быстродействия и точности устройства, оно содержит формирователь сигналов измерительных визиров, два триггера, три элемента И, четыре з счетчика, блок сравнения кодов, делнтепь

44 6 частоты, смеситель и генератор опорной частоты, выход которого подключен к первым входам первого и второго элеювтов И, выход первого триггера подключен к второму входу второго элемента И, вт » рому входу первого счетчика и первому входу второго триггера, выход которого соединен с вторым входом первого элемента И, выход которого подключен к первому входу второго счетчика и через делитель частоты - к второму входу . третьего счетчика, первый вход которого соединен с выходом второго элемента И, а выход подключен через третий элемент

И к второму входу второго триггера и второму входу пифх печатающего блока, выходы первого и второго счет ахов подипочены к соответствуюшим входам блока сравнения кодов, выход которого подключм ко второму входу второго счетчика и входу четвертого счетчика, выход которого подкпючей к первому входу цифропечатающего блока, вход первого триггера подключен к выходу формирователя сигналов измерительных BRGHpoa, вход видеоконтрольиого блока подключен к выходу смесителя, вход которого соединен с выходом формирователя сигналов иэмеритепьных визиров.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Бобек Э. и др. 0илиндрические магнитные домены. М., "Энергия, 1977, с. 96-97.

2. Приборы и техника эксперимента.

1975, 14 5, с. 214 (прототип).

042144

Составитель Ю. Розенталь

Техред Т.Маточка Корректор Г. Огар

Редактор М. Голаковски

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ <853>

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и откръггий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5