Радиометрический манометр

Радиометрический манометр

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик рв 943545 (6f) Дополнительное к авт. свид-ву 9 537276 (22) Заявлено 29.12.80 (2$) 3224883/18-10 с присоединением заявки М(23) ПриоритетОпубликовано1507.82 . Бюллетень N9 26

{з } м.ма.

G 01 Ь 21/26

Государетвенный комитет

СССР во делам изобретений н открытий 33)УДВ 531 788 (088. 8) Дата опубликования описания 15.07.82 (72) Авторы .изобретения

В.И. Бойцов и Б.В. Иванов

Московский ордена Трудового Красйого-.Внамени. институт химического машиностроения (Л) Заявитель (54) РАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к вакуумной метрике, конкретнее - к средствам измерения параметров разреженного газа.

Но основному ав.св. 9 537276 известен радиометрический манометр, слежащий для измерения вакуума н содержащий корпус, внутри которого установлена вертушка с приводными лепестками, и индуктор генератора токов высокой частоты. Приводные лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды,.причем одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая — слоем немагнитного материала (1).

Использование такого манометра сводится к определению уровня вакуума как в статической, так и в динамической вакуумной системе, что, однако, не позволяет оценивать с его помощью величины газовых потоковпараметров, характеризующих загазованность и степень герметичности вакуумной систеьы.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства, т.е ° воэможность определения величин газовых потоков в вакуумной системе.

Цель достигается тем, что ради5 ометрический манометр снабжен вакуумнруемой емкостью с идентичной вертушкой и входным отверстием, размещенной внутри индуктора, а корпус снабжен выходным патрубком, соединенным через трехходовой вентиль с входом емкости, при этом на входе корпуса установлен эапорный элемент.

На чертеже схематично изображен радиометрический манометр (пример применения манометра при определении величин газовых потоков для случая определения суммарной негерметичности вакуумированного изделия).

Радиометрический манометр включает индуктор 1 генератора 2 токов высокой частоты, внутри которого установлены корпус 3 манометра с вертушкой 4 на игольчатой опоре и соединенный через трехходовой вентиль 5 с емкостью 6 с вертушкой 7. На входе

25 корпуса 3 установлен запорный элемент 8, отсекающий в схеме определения негерметнчности вакуумируемое изделие 9, а к трехходовому вентилю 5 подключен вакуумный насос 10. Индук30 тор размещен в азотной ловушке (на

943545

Формула изобретения чертеже нй показано). При использовании манометра в приведенной схеме вертушка 4 корпуса 3, вращаясь под действием радиометрическога эффекта при работающем генераторе 2, измеряет уровень динамического ваку- 5 ума в системе. для определения величины газовых потоков перекрывают запорный элемент, а вентиль 5 ставят в положение, сообщающее входы корпуса 3 с вакуумным насосом 10. При 10 этом в корпусе 3 и емкости 6 устанавливается одинаковый, зависящий от характеристики насоса 10 уровень статического вакуума, характеризуеьый частотой вращения вертушек 4 и 7. Затем .вентилем 5 отсекают от систеьы емкость 6 и, открывая эапорйый элемент 8, сообщают иэделие 9 с насосом 10. В корпусе 3 устанавливается давление, соответствующее газо- 20 вой нагрузке из изделия 9 и характе" ризуемое уменьшением частоты вращения вертушки 4.. Для чистых изделий с малым гаэоотделением с внутренних поверхностей разность чисел оборотов вертушек 4 и 7 является мерой суммарной негерметичности иэделия.

ВНИИПИ Заказ 5095/47

Тираж 887 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4

Использование изобретения позволяет кроме измерения уровня вакуума в вакуумной системе обеспечить контроль ее герметичности при уровне тес что, в свою очередь, позволяет отказаться от применения дорогостоящих течеискателей и анализаторов..

Радиометрический манометр по авт. св. 9 537276, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен вакуумируемой емкостью с идентичной вертушкой и входным отверстием, размещенной внутри индуктора, а корпус снабжен выходным патрубком, соединенным через трехходовой вентиль с входом емкости, при этом на входе корпуса установлен, запорный элемент.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 537276, кл. G 01 L 21/26, 1975 °