Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социапистических

Республик

О П И С А Н И Е ()943920

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЯЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. синд-ву(22) Заявлено 17. 12. 80 (21) 3218020/18-21 с присоелинением заявки Ж (23) Приоритет

Опубликовано 15, 07.82. Бюллетень № 26

Дата опубликования описания 15 ° 07 82 (51)М. Кл.

Н 01 ) 1л1/16

3Ъаударстванный квинтет по палая изобретений н открытий (53) УДК 621. 528 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Ш.А.Ахманов, В.Б.Нойсс, С.Д.Островка и Н.П.Решетняк (7I ) Заявитель (54) КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ

ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструк циям вакуумных насосов, сочетающих ионную откачку с помощью разряда

Пеннинга и испарение геттера,и может найти широкое .применение в технике физического эксперимента, в установках для нанесения тонких пленок, в электровакуумном производстве и во многих других областях, где необходим высокий и сверхвысокий безмасляный вакуум.

Известен комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий герметичный корпус, испаритель - геттера и магниторазрядную ступень от кач ки (13 .

В этом насосе внутри магниторазрядной ступени вокруг испарителя размещена сорбционная поверхность в виде двух профилированных цилиндров, охлаждаемых хладагентом. При таком исполнении насоса ни поверхность карманов, ни внутренняя поверхность корпуса не запыляются гетте ром исп- рителя. Исключается также возможность осаждения испаряющегося геттера на катодных пластинах и аноде, где про5 исходит ионная откачка и химическое поглощение газа. °

Кроме того, для обеспечения хорошего доступа откачиваемого газа к

10 ячейкам магниторазрядных блоков охлаждаемый экран вокруг испарителя необходимо размещать на значительном расстоянии от магниторазрядной ступени, что приводит к необходимости уменьшать поверхность экрана. Это, в свою очередь, обуславливает снижение быстроты откачки за счет химсорбции.

Известен также комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий корпус, s котором размещены испЬрители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки (2).

9439

Формула изобретения

Ввиду того, что карманы и разряд- . ные блоки размещены секциями по периметру многоугольника вблизи корпуса насоса, а испарители геттера расположены в центральной камере, внутри магниторазрядной ступени, напротив входного отверстия, большая часть внутренней поверхности корпуса, а также поверхности карманов и разрядных блоков, обращенные к корпусу, 1ð не. запыляются геттером испарителей, что является причиной пониженной быстроты откачки.

Целью изобретения является повышение быстроты откачки насоса.

Указанная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе,содержащем корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки, карманы расположены рядами вдоль радиусов,. так что .плоскость симметрии каждого ряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенками соседних рядов карманов;

На чертеже схематически изображен один из вариантов предлагаемого насоса, вид сверху.

Насос содержит цилиндрический

Э5 корпус 1 с днищем, входной патрубок с фланцем 2 для подсоединения к откачиваемому объему. Внутри корпуса

1 под фланцем 2 перпендикулярно днищу и параллельно оси входного

40 патрубка размещены герметичные карманы 3, в которых установлены магниты 4, а между карманами внутри насоса расположены электродные блоки, состояцие из ячеистого анода 5 и

15 катодных пластин 6. B секторах, ограниченных карманами с магниторазрядными блоками и внутренней поверхностью корпуса 1, расположены испарители 7 геттера.

Откачивающее действие насоса ха50 рактеризуется ионной откачкой магниторазрядных блоков и сорбцией газов пленками геттера, сублимирующегося с испарителя и напыляющегося на

20 4 внутренние поверхности лементов насоса.

При работе насоса газ, поступая через входное отверстие и распределяясь по внутреннему объему насоса, попадает к ячейкам магниторазрядных блоков, где подвергается ионизации электронами. Положительные ионы бомбардируют катоды 6 и внедряются в них. В то же время с испарителей 7 испаряется геттер, который запыляет с двух противоположных сторон поверхности карманов и электродов, а также напыляется на открытую поверхность корпуса насоса. Благодаря этому прочнее замуровываются внедрившиеся в катоды частицы инертных газов, а также эффективнее откачиваются активные газы, так как увеличивается поверхность сорбции. Расчет показывает, что быстрота откачки насоса по сравнению с прототипом увеличивается при равном количестве ра6отающих испарителей в 1,$ раза. Описанный насос эффективен и в случае работы на переменную газовую на-рузку.

Магниторазрядный геттерно"ионный насос, содержащий корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разрядные блоки, о т л ич а ю.шийся тем, что, с целью повышения скорости откачки, карманы расположены рядами вдоль радиусов, при этом плоскость симметрии каждого ряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители гет,тера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенками соседних рядов карманов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторсков свидетельство СССР и 387465, кл. H 01 J 41/00, 1972.

2. Ахманов Ш.A. и др. Комбини" рованные электроразрядные геттерноионные вакуумные насосы. Обзорная информация, серх XM-6., ЦИНТИХИИнефтемаш, 1979, с. 33 прототип).

Составитель А. Захаров

Редактор С. Тимохина Техред Ж. Кастелевич Корректор . АзЯтко

Заказ 5137/66 Тиран 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5 е

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4