Шиберный затвор
Иллюстрации
Реферат
А.6.Димант, А.Б.Куркин, Ф.А.Глускин, В.С.Мурзин, Д.П.Воронин и В.Г.Хлапов (72) Авторы изобретения
1
1
Научно-исследовательский и экспериментальный- институт автомобильного электрооборудования и, автоприборов
Г (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ. 1, Изобретение „относится к области нанесения покрытий, в частности к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы.
Известна .установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки изделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем указанные камеры снабжены автономными системами откачки.
Установка позволяет производить смену изделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации (1 3.
Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы. Отсутствие шлюзовых устройств внутри промежуточной камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали, охлаждаемые в промежуточной камере, могут соприкасаться с парами исходного соединения и продуктами их разложения.
Наиболее близкой к изобретению является установка для нанесения покрытий из газовои фазы, содержащая камеру металлиэации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в каме". ру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой (23 °
Однако известная установка при
1 осаждении покрытий из газовой фазы не обесйечивает требуемого качества, поскольку изделия, транспортируемые в загрузочно-разгрузочную камеру,могут соприкасаться с парами исходного го соединения и продуктами их разложения.
Целью, изобретения является повышение качества noKpbITvfN.
Установка работает следующим.образом.
Через люк 13 изделия б загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк
13 закрывают и производят вакуумирова ние загрузочно-разгрузочной камеры 1. дуктов разложения.
3 94475
Поставленная, цель достигается тем, I что установка, содержащая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и разгрузочно-загрузочной камерой, снабжен заслонкой, установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации.
Такое конструктивное выполнение установки обеспечивает повышение качества покрытий за счет того, что в момент металлиэации заглушка на торцовой части толкателя разобщает камеру металлизации и загрузочно-разгрузочную камеры. Пары исходного химического соединения при этом не проникают из камеры металлизации в загрузочно-разгрузочную камеру и не попадают на иэделия. Кроме того, толкатель выполняет функции держателя изделий, что исключает необходимость иметь держатель изделия в камере металлизации, для чего он снабжен нагревателем. Возврат металлизированных изделий в загрузочно-разгру- . зочную камеру исключает необходимость иметь бункер для готовой продукции, что выгодно отличает предложенное устройство от известного.
Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и разгрузочно-загрузочную камеру разобщает заслонка, что имеет место при выходе на
46 режим, смене деталей и т.п. При этом также исключается попадание паров исходного соединения и продуктов их распада на изделия.
На чертеже показана принципиальная схема установки.
Установка содержит загрузочнораэгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки
4 с реэистивным нагревателем 5,предназначенным для перемещения изделия
6, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлиэации, помещенную в промежуточную камеру 10,причем камера 9 металлизации снабжена испаряющим устройством 11. Промежуточная камера 10 соединена с шлюзовым устройством 7, снабженным зас2 4 лонкой О и установленным на верхней части камеры 1, внутри которой смонтирован поворотный транспортер 2, предназначенный для перемещения кассет с изделиями 6.
Компановка установки выполнена таким образом, что испаряющее устройство
ll, входное. отверстие 12 камеры 9 металлиэации, шлюзовое устройство 7 и толкатель 3 с заглушкой 4 расположены соосно и вертикально, причем заглушка 4 толкателя 3 в верхнем положении перекрывает входное отверстие 12 камеры 9 металлизации. Камера 1 имеет люк 13 для загрузки и выгрузки изделий.
Одновременно при закрытой заслонке 8 шлюзового устройства 7 вакуумируют камеру 9 металлизации и производят ее термостатирование до требуемой температуры. Затем открывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 и поднимают вверх толкатель 3, освобождая путь для перемещения заглушки 4. В крайнем верхнем положении заглушка 4 упирает- ся s нижний фланец камеры 9 металлизации, полностью перекрывая ее входное отверстие 12, при этом обрабатываемое изделие 6 оказывается в камере 9 металлизации в зоне индукционного нагрева, в камеру подают пары исходного металлоорганического соединения(МОС}, которые равномерно обтекают нагретую поверхность изделия 6 и разлагаются на этой поверхности с образованием покрытия и летучих проЧерез заданный промежуток бремени прекращают выход паров иэ испаряющего устройства 11 в: камеру 9 металлизации. Затем толкатель 3 с заглушкой
4 и размещенным на ней изделием 6 опускают в крайнее нижнее положение.
При выходе заглушки 4 с изделием 6 заслонку 8 закрывают. При опускании толкателя 3 изделие 6 с покрытием выводится из зоны действия толкателя
3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 при отсутствии паров
МОС, а другое изделие без покрытия оказывается над толкателем.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе t. Патент США М 3915117, хл. 118-49, 1975. р 2. Патент США и 3856654, кл. 204-298, 1971 ° формула изобретения
Установка для нанесения покрытий из газовой фазй, еодержащая камеру металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с поВНИИПИ Заказ 5212/13 Тираж 1053 Подписное
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
5 944752 6
После этого цикл повторяется. воротным транспортером и толкателем
По окончании обработки всех изде-.. для перемещения изделий в камеру мелий закрывают заслонку 8 шлюзового таллиэации, систему откачки, соедиустройства 7, производят разгермети- ненную с камерой металлиэации и загзацию загрузочно"разгрузочной камеры у рузочно-разгрузочной камерой, о т1, выгрузку обработанных изделий 6 л и ч а ю щ а я с я тем, что, с цен загрузку новых изделий. лью повышения качества покрытий, она
Использование изобретения позволя- снабжена заслонкой,, установленной ет повысить качество покрытий и бе- между камерой металлизации и загруэочзопасность процесса, исключив кон- . ф но-разгрузочной камерой, и нагреватетакт персонала с исходными химически.- лем, установленным на толкателе, торми соединениями, и газообразными про- цовая часть которого выполнена в виде дуктами их разложения. заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации.