Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей

Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (945699

ИЗЬБРЕТЕ Н ИЯ н лвтовскомю свидатальствю

Союз Советскмк

Соцмалмстмческмк

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)з алеко 04 12.80(2l) 3213684 25 28 (5l)M. Кл. з

I с присоединением заявки №

9 01 М 3/02

Peyaepnawe4 кввипет

СССР. ав деэм «звврвтаек к вткрмткй (23 ) Приоритет

Опубликовано 23 07.82. Бюллетень №27 (53) УДК 620.166..29(088.8) Дата опубликования описания 26.07.82

А. В. Шульженко, Л. И. Бударин, Ю. Ф. Фатеев, В. Ф. Рогаль и. А. М. Сабадаш

1 (72) Авторы изобретения

1

4RTUF17чr

Ю Tг, "<+El 1 " с ° . д t Ir»

I . .;;,"; p, 1 (7I ) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦАЕМЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ КОНТРОЛЬНЫХ ТЕЧЕЙ

Изобретение относится к технологии изготовления одноканальных проницаемых элементов контрольных течей, используемых для контроля герметичности.

Известен способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, 5 заключающийся в том, что наружную поверхность стеклянного капилляра йокрывают слоем токопроводящего материала путем напылении его в вакууме или осаж- о денни химическим путем и. нри непрерывной продувке полости капилляра газом, на полученный токопроводящий слой электролитическн осаждают вакуумноплотный слой металла Г1$ .

Недостаток способа заключается в ог раниченности диапазона пропускной способности получаемых контрольных течей, поскольку для изготовления проницаемых элементов на потоки газа меньше 20

1СГ л. мкм/с при перепадах давления от 0,1 до.нескольких атмосфер, необходимо для продувки капилляра создавать в его полости давление, которое превышает пре дел прочности стекла и разрушает капнлtiQP е

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, -что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводящий слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитнчески осаждают на токопроводящий слой ва куумноплотный слой металла. Концевой участсж капилляра герметиэируют путем установки капилляра в специальную оправку и касания концом капилляра капли предварительно загустевшего эпоксидного клея. После электролитического осаждения герметнзированный конец капилляра отрывают усилием, превышающим предел прочности стенки стеклянного капилляра 2

Недостатком способа является сложность процесса герметизации капилляра, 3 . 94569 требующего применения специальной точной оснастки, а также сложность обеспечения надежного контакта тонкого токопроводяшего слоя с источником питания при электролитическом осаждении.

Цель изобретения - упрощение про- цесса изготовления.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления проницаемых элементов контрольных течей, за- fO ключающемуся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводящий слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаж-1$ дают на токопроводящий слой вакуумноплотный слой металла, герметизируют конжвой участок капилляра непосредственно в процессе электролитического осаждения путем погружения его в жидкий металл, 20 несмачиваюший материал капилляра.

Причем в качестве жидкого металла используют сплав Вуда.

На чертеже изображено устройство для осуществления способа. 2S

Устройство содержит зажим 1 для стеклянного капилляра 2, гальваническую ванну 3, размещенную в ней термостатированную ячейку 4, в-которой расположена кювета 5, заполненная жидким сплавом эа

Руда 6, и микрометрическую головку 7 для перемещения зажима 1.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

- по заявке М 2776531/25-28, кл. G 01 М 3/02, 1979.

2 ° Авторское свидетельство СССР по заявке М 2896896/25-28, кл. 4 01 М 3/02, 1980 (прототип).

Способ осуществляется следующим образом.

Стеклянный капилляр с диаметром вы35 ходкого канала 0,08 мкм закрепляют в маятниковом устройстве универсального вакуумного поста под углом 45о к направлению напыления токопроводяшего мате10 риала из испарителя (чтобы исключить металлизацию выходного канала капилляра), и, вращая капилляр вокруг его оси, напыляют медь на наружную поверхность капилляра до толщины напыленного слоя около 0,5 мкм. После этого капилляр 2

4S с металлизированной поверхностью закрепляют в зажиме 1. На дно ванны 3 в термостатированную ячейку 4 помещают кювету 5, заполненную жидким сплавом

Вуда 6, несмачивающйм стекло. Пере50 мешая капилляр при помощи головки 7, по наличию электрического контакта фиксируют момент касания сужающейся час9 ф ти капилляра с поверхностью сплава Вуда, Затем гальваническую ванну 3 заполняют пирофосфатным электролитом и при температуре раствора 70оС наращивают слой меди толщиной около 1 мм. В процессе электролитического осаждения электрический контакт источника питания с тонким токопроводящим слоем капилляра осуществляют через сплав Вуда, на поверхности которого выделился при заливе электролита тонкий слой контактной меди, механически связанный с токонроводяшим слоем капилляра. В некоторых случаях выступающий над развитой поверхностью конец стеклянного капилляра перед калибровкой отрывают.

Изобретение позволяет получать проницаемые элементы контрольных течей с развитой имитирующей поверхностью из однородного материала на потоки газа до 1.10 л.мкм/с при перепадах давления or 0 1 до нескольких атмосфер, Формула изобретения

1. Способ изготовления проницаемых элементов контрольных течей, заключающийся в том, что на наружную поверхность стеклянного капилляра напыляют в вакууме токопроводяший слой, герметизируют концевой участок сужающейся части капилляра и электролитически осаждают на токопроводяший слой вакуумноплотный слой металла, о т л и ч а юш и и с я тем, что, с целью упрощения процесса изготовления, герметизируют концевой участок капилляра непосредст венно в процессе электролитического осаждения путем погружения его в жидкий металл, несмачиваюший материал капилляра.

2.Способпоп. 1, отличаюш и и с я тем, что в качестве жидкого металла используют сплав Вуда.