Магниторазрядный насос

Магниторазрядный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советсиин

Социалистические

Реслублии

О П И С А Н И Е ()945925

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22} Заявлено 03. 11. 80 (21) 3230597/18-21 с присоединением заявки М (23) ПриоритетОпубликовано 23 ° 07 ° 82 ° Бюллетень ЮР7

Дата опубликования описания 23. 07. 82 (5l)M. Кл.

Н 01 J 41/ОО

ГеоудорстеенныИ коюнтет

СССР но делом нзооретеннй н отерытнй (53) УДК 621. 528, ° 5(088.8) (72) Авторы .изобретения

А. С. Кузинец, А. М, Шерешевски

Ленинградское научно-производст

"Буревестник" (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к ионносорбционным насосам, и предназначено для получения и поддерживания высокого и сверхвысокого безмасляного ваку5 ума.

Известен магниторазрядный насос, содержащий ячеистый анод, расположенный между плоскими катодами, и магнитную систему tl).

Недостатком этого насоса является низкая скорость откачки., Известен также магниторазрядный насос, содержащий металлический корпус с размещенной в нем электронной систе-15 мой, состоящей из коаксиально расположенных попых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит (23. то

Недостатком этого насоса является низкая скорость откачки, ограниченная недостаточно развитой площадью поверхности электродов.

Цель изобретения — повышение скорости откачки магниторазрядного насоса.

Эта цель достигается тем, что в маг магниторазрядном насосе, содержащем металлический корпус с размещенной в нем электродной системой, состоящей из коаксиальна расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит, каждый из электродов выполнен в виде набора перфорированных цилиндров, причем анодные цилиндры чередуются с катодными.

На фиг. 1 представлен насос; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

Магниторазрядный насос содержит систему цилиндров 1, присоединенных к электрическому вакуумному вводу 2, систему цилиндров 3, электрически соединенных с корпусом 4, кольцевой магнит 5 и полюсные наконечники 6.

К вакуумной системе насос присоеди3 94592 няется через патрубок 7. Для улучшения условий зажигания газового разряда и снижения вакуумного сопротивления цилиндры насоса выполнены перфорированными. 5

Предлагаемы" магниторазрядный насос работает следующим образом.

При подаче высокого напряжения на электроды насоса во всех кольцевых ячейках, образованных смежными электродами, зажигается газовый разряд.

Под действием образующихся в разряде положительных ионов происходит распыление поверхностного слоя катодных цилиндров, частицы которого оседают на поверхности ан здных цилиндров. В результате осуществляется типичный для магниторазрядных насосов механизм ионной и сорбционной откачки.

Высокий коэ ициент использования объема и большой суммарной поверхности электродов предлагаемого насоса позволяет достичь высокую скорость откачки при сравнительно небольших габаритах насоса.

Предлагаемый магниторазрядный насос предназначен в частности,для электронных с lектpoметpoв и оже-спектро5 4 метров, но может .быть использован практически в любых приборах и установках для получения высокого и сверхвысокого безмасляного вакуума.

Формула изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий металлический корпус с размещенной в нем электродной системой, состоящей из коаксиально расположенных полых цилиндрических анода и катода, один из которых электрически соединен с корпусом, и коаксиальный кольцевой магнит, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки, каждый из электродов выполнен в виде набора перфорированных цилиндров, причем анодные цилиндры чередуются с катодными.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы. М., "Энергия", 1970, с. 43.

2. Патент США Р 3216652, кл. 417-49, 1965 прототип).

945925

Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений-и открытий

113035, Москва, 3-35, Раушская на6., д. 4/5

Заказ 5341/71

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород,. ул. Проектная, 4

Составитель А. Захаров

Редактор Т. Кугрышева Техред М.Надь КорректорА. Дзятко