Способ изготовления фольговых тензорезисторов

Способ изготовления фольговых тензорезисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

947635 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву(22) Заявлено 14.04 ° 80(21) 2910546/25-28

Р1 М Кп з

G 01 В 7/20 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.07.82. Бюллетень ¹ 28

Дата опубликования описания 30.07.82

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (33) УДК 531 ° 781 ° 2:

:539 ° 3 (088. 8) Ю.М. Базжин, Ф. A. Гордеева и С.A. Николае а

П „",.„;„)3 (72) Авторы изобретения

НВЛИЭ1МИ, Научно-исследовательский и конструкторский инстит т (71) Заявитель испытательных машин, приборов и средств измерения масс (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к технике тенэометрических измерений.

Известен способ изготовления тензореэисторов, заключающийся в формировании подложки из клея в жидкой фазе непосредственно на фольге путем нанесения его с помощью фильеры, валика или кистью с последующей сушкой на воздухе и термообработкой в термостате, затем покрывают другую сторону фольги фотореэистом, производят фотолитографию и травление (1).

Однако этому способу присущие скручивание пакета иэ-за.большой разницы в коэффициентах линейного расширения фольги и клея, поэтому заготовки фольги необходимо закреплять на специальных сетках, на которых.они проходят термообработку и последующие операции, что снижает производительность труда.

Наиболее близким к изобретения по технической сущности является способ изготовления фольговых тензорезисторов заключающийся в том, что последовательно производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой подсушенного клея присоединяют подложку, термообрабатывают и травят (2).

Недостатком этого способа является малая производительность труда из-за длительности процесса сушки и термообработки, требующего длительной выдержки пакета заготовок тензорезисторов под прижимом.

10 Цель изобретения — повышение производительности и улучшение метрологических характеристик.

Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления фольговых тенэорезисторов, заключающемся в том, что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают.

Способ осуществляется следующим образом.

Фольгу для очистки пропускают через ряд ванн, сматывая с рулона.

Затем в процессе перемотки наносят на поверхность фольги фотореэист, например, вытягивая из раствора, осуществляют копирование дискретным методом, сохраняя целостность фольги, 947635

Формула и ..обретения

Составитель В. Савичев

Редактор С. Тараненко Техред Л . Пекарь Корректор Г. Решетник

Тираж 6 14 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5613/61

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 проводят в непрерывном режиме проявление и дубление. Далее, также в непрерывном режиме, производят прикатку фольги к жидкому клею, нанесенному на подложку, и травят. После травления, когда значительная часть фоль- 5 ги удалена и открыт доступ к выходу растворителя, осуществляют термообработку.

Присоединение подложки к фольге в ходе выполнения операции травления, осуществляемое эа счет снл сцепления жидкого клея, приводит к качественно новому эффекту — возможности осуществления непрерывного технологического процесса,в котором вспомогательное время практически отсутствует. Это позволяет в несколько раэ повысить производительность и сократить количество специального оборудования и одновременно улучшить метрологические характеристики типоразмеров.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов, заключающийся в том, что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, отличающийся тем, что, с целью повыаения производительности и улучшения метрологических характеристик, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Технологический процесс изготовления фэльговых тензореэисторов

НИКИМП. 1967, c. .33-48.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 316922, кл. G 01 В 7/18, 1971 (прототип) .