Способ подгонки тонкопленочных делителей напряжения

Способ подгонки тонкопленочных делителей напряжения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (И) М. Кп.

Н 01 С 17/22 (22) Заявлено 190279 . (21) 2733323/18-21 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 300782, Бюллетень ¹28

Дата опубликования описания 300782 (53) УДК621. 316..86(088.8) Э.Г. Маркосян, Р.Г. Алексанян, В. . БаГраВ рва, А.В. Татевосян, A.A; Айвазян, Э. .- Саносян и Ю.В. Сухарев 1"",;" : 1;..

I!

„ ..1 г..г1 . 4

A с

"ему., . ! (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ДЕЛИТЕЛЕИ

НАПРЯЖЕНИЯ

Изобретение относится к технологий создания тонкопленочных резисторов и может быть использовано в производстве интегральных резисторных микросхем делителей напряжений и тока.

Известен способ селективной подгонки сопротивления гальванически связанных резисторов посредством анодного окисления с жидким электролитом, при котором электролит подается только на те участки резистивной структуры, которые необходимо окис лить. Это дает возможность осуществлять функциональную подгонку резисторных делителей напряжения, то есть непосредственно коэффициента деления смонтированных приборов (1j .

Недостатком данного способа является ограниченная разрешающая способность и необходимость защиты неано. дируемых участков.

Наиболее близким по технической сущности является способ селективной подгонки сопротивления гальванически связанных резисторов, при котором проводят общее анодирование всех резисторов при определенном потенциале анодирования, а затем путем подачи нового потенциала, превышение которого над первоначальным приходит\ ся только на отдельный резистор, осуществляют его подгонку (2).

Недостатком известного способа является то, что, во-первых, перед селективной подгонкой необходимо провести общее анодирование, что во многих случаях нежелательно. Во-вторых, новый потенциал анодирования данного резистора должен иметь строго определенное значение, получаемое расчетным путем, чтобы не быпо превышения над первоначальным потенциалом анодирования других резисторов.

Это ограничивает варьирование степени селективной подгонки резисторов в широких пределах.

Цель изобретения — повышение точности подгонки

Поставленная цель достигается тем, что в известном способе подгонки тонкопленочных делителей напряже.ния, включающем анадное окисление каждого из гальванически связанных резисторов, анодное окисление осуществляют подачей отрицательного по.тенциала на общий проводник, к которому подключены выводы резисторов, а положительный потенциал подают последовательно на свободные выводы каждо947920 го иэ гальванически связанных резисторов.

На чертеже показан делитель напряжения, подгоняемый предлагаемым способом.

Делитель состоит иэ резисторов 5

1-1-1-п(R, й,1, ..., R„), подключенных одним выводом к общему проводнику 2, на который подан отрицательный потенциал напряжения источника 3 пи- тания. В пределах области 4, являю- >Q щейся зоной анодирования, осуществляется контакт электролита с поверхностью резисторов. Для селективной подгонки резистора 1-1-1-п замыкают один из ключей 5-.1 — 5 п, связывающий свободный вывод каждого из резисторов с положительиым полюсом источника питания. Потенциометром 6 ограничивается ток подгонки. .Сущность предлагаемого способа подгонки состоит в том, что при указанном включении анодированию подвергается лишь тот резистор делителя, на свободном выводе которого имеется положительный потенциал. Все остальные резисторы через общий проводник подключены к отрицательному потенциалу и, следовательно, анодированию не подвержены. Степень,селективной подгонки. можно варьировать в широких пределах путем изменения разности потенциалов на свободном и связанном (общем проводнике) выводах каждого из резисторов.

Предлагаемый способ подгонки от- 35 ,личается от известных тем, что анодное окисление осуществляют беэ общега катода, его роль выполняет непосредственно общий приводник п,рдгоняемого делителя напряжения. В этом слу-4Q чае анодное окисление протекает не в поперечном, а в продольном электрическом поле и не сопровождается предварительным общим анодированием делителя.

Использование предлагаемого способа открывает широкие воэможности для функциональной подгонки интегральных резисторных микросхем делителей напряжения и тока. По сравнению с существующими способами подгонки анодированием он обладает более высокой разрешающей способностью, удобством использования и возможностью автоматизации.

Формула изобретения

Способ подгонки тонкопленочных делителей напряжения, включающий анодное окисление каждого иэ гальванически связанных резисторов, о т— л и ч а ю шийся тем, что,с целью повышения точности подгонки, анодное окисление осуществляют подачей отрицательного потенциала на общий проводник, к которому подключены выводы резисторов, а положительный потенциал подают последовательно на свободные выводы каждого из гальванически связанных резисторов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 511634, кл. Н 01 С 17/00, 1972(аналог) .

2. Авторское свидетельство СССР

9 319962, кл. Н 01 С 17/26, 15.03,69 (прототип).

Составитель О. Чернышов

Техред Л Пекарь КорректоР В. Бутяга

Редактор Е. Кинив ехред

Заказ 5663/76 Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по о делам изобретений и открытий

4 5

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. / ктная 4

Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проект а