Способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

O Il И С А Н И Е (, 950798

-ИЗЬБРЕТЕ Н ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.07.80 (21) 2956427/18-2! (51) М.К . с присоединением заявки №вЂ”

С 23 С 15/00.Гвеудврствевный квмитет (23) Приоритет—

СССР

Опубликовано 15.08.82, Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 25.08.82 (53) УДК 621.793 (088.8) пе делам нэвбретений и втермтий (72) Авторы изобретен ия

Т. В. Замоздик и П. И. Мельченко,Латвийский ордена Трудового Красного ЗнММйи + государственный университет им. П. Стучки,1, (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПРОЗРАЧНЫХ

ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКСИДА ИНДИЯ

Изобретение относится к нанесению покрытий, в частности к катодному распылению электропроводящих покрытий, и может быть использовано для получения прозрачных электродов и обогревательных элементов.

Известен способ получения электропроводящих прозрачных покрытий из оксидов металлов с порядковым номером от 48 до

51 на подложке из стекла путем катодного распыления в атмосфере аргона, кислорода и водорода (1).

Однако получить этим способом низкоомные покрытия с высоким светопропусканием невозможно.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия, включающий катодное распыление материала покрытия и осаждение на подложку в атмосфере, содержащей инертный газ, кислород и водород (2) .

Однако полученные по данному способу покрытия имеют низкое качество.

Цель изобретения — повышение качества покрытий.

Поставленная цель достигается тем, что в способе получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия, включающем катодное распыление материала покрытия и осаждение на подложку в атмосфере, содержащей инертный газ, кислород и водород, распыление проводят при следующем соотношении газов об. %:

Инертный газ 75 — 77

Кислород 6 — 7

Водород 17 — 18, причем в качестве подложки используют полимерный материал.

Осаждение прозрачного электропроводящего покрытия из оксида индия проводят путем распыления металлического индия методом катодного реактивного распыления при соотношении реактивных и инертных газов в распылительной камере: 75 — 77 ч. инертного газа, 6 — 7 ч. кислорода и 17 — 18 ч. водорода с охлаждением подложки от — 100 до +20 С. При этом в качестве подложки используют также полимерный материал, что намного расширяет возможности применения этих покрытий (например, фото- и кинотехника, системы записи и воспроизведения информации).

950798

Удельное поверхностное сопротивление, Ом/квадрат

Соотношение газов в камере

Светопропускание, у,"

Материал подложки

) Ar О, Ъ

Предлагаемый способ

87-88

86-87

92-95

Стекло

3-5

77

Стекло

Лавсан50

Известный

80-85

Стекло

Лавсан

Формула изобретения

Составитель Д. Белый

Редактор,Л. Повхан Техред А. Бойкас Корректор Е. Рошко

Заказ 5636 30 Тираж 1053 Подлисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Пример 1. Осаждение пленки оксида индия производят на подложке из стекла в атмосфере аргона, кислорода и водорода (соотношение газов в распылительной камере приведено в таблице) распылением индиевого катода. Время осаждения 60 мин, расстояние катод-анод 50 мм, напряжение между катодом и анодом 3 кВ, плотность тока

1 мА/см, температура анода 10 — 20 С, температура подложки 10 — 20 С.

Основные параметры, характеризующие полученные покрытия в сравнении с извест10 ным способом приведены в таблице.

Пример 2. Условия напыления идентичны условиям примера 1, но в качестве подложки используют лавсановую пленку. Время осаждения 30 мин, температура подлож- 15 ки 50 С.

1. Способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия, включающий катодное распыление материала покрытия и осаждение на подложку в отмосфере, со- 45 держащей инертный газ, кислород и водород, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, распыление проводят при следующем соотношении газов, об. %:

Инертный газ 75 — 77 50

В результате получают высококачественные проводящие прозрачные покрытия из оксида индия не только на подложке из стекла, но и на полимерной подложке из лавсановой пленки. Покрытия на подложке из стекла отличаются в 2 — 5 раз более высокой электропроводностью при светопропускании на 2 — 8% выше, чем покрытия, полученные известным способом. Причем в отличие от свойств покрытий, полученных известными способами, покрытия, полученные предложенным способом, обладают одновременно и высокой проводимостью и повышенным светопропусканием, что особенно важно для покрытий на полимерной подложке, весьма перспективных в фото- и кинотехнике, а также в системах записи и хранения информации.

Кислород 6 — 7

Водород 17 — 18

2; Способ по и. 1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют полимерный материал.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 4094763, кл. С 23 С 15/00, 1978.

2. Патент США № 3506556, кл. С 23 С 15/00, 1970 (прототип).