Резистивный материал

Резистивный материал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е ()953672

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К, АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (6! ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 07.01.80 (2() 2880565ll 8-21 (51) M. КЛ.

3 с присоединением заявки №вЂ”

Н 01 С 7/00

@еударотееиный квинтет

СССР ао делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 23.08.82. Бюллетень №31

Дата опубликования описания 23.08.82 (53} УДК 621.315. . 5(088.8) (72) Авторы изобретения

Н.М. Кондратов и И. В. Рогова (71) Заявитель (54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано, например, в микроэлектронике для изготовления тонкопленочных резисторов.

Известен резистивный материал, сойержащий кремний, никель и кобальтЫ.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является резистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт 2 .

Недостатки известных резистивных материалов заключаются в низком- электрическом сопротивлении, высоком температурном коэффициенте сопротивления и большом абсолютном дрейфе сопротивления.

Цель изобретения - повышение элект рического сопротивления, снижение температурного коэффициента сопротивления и уменьшение абсолютного дрейфа сопро тивления.

Каждая смесь сплавляется отдельно в индукционной плавильной печи в квар цевых тиглях в атмосфере воздуха с раа1 ливкой в стальные горизонтальные изложницы. Полученные слитки шлифуют и из них изготовляют мишени для ионоплазменного распыления., Резистивный материал используется для нанесения пленок на установке типа

УВН-75Р-1.Остаточное давление в камере составляет 3 10 мм рт. ст. Напыление» производится на ситалловые подложки, Поставленная цель достигается тем, что резистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт, содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес. %:

Кремний 57-65; 9

Титан 25,1-28

Кобальт 9-1 5 ,цля получения резистичного материа:ла подготовлено три смеси компонентов, содержащие каждая, вес. %: кремний 65,9; 61,5 и 57; титан 25,1 Ä 26,5 и

28 и кобальт 9, 12 и 15.

3 953672 4 нагретые до 200 С, через биметалличес- - 1 онкопленочныр резисторы, изготовлено кую маску. В качестве контактных пло- ные на основе резистивного материала, щадок используется слой меди с подслоем имеют следующие характеристики, привехрома. денные в таблице.

0,50

0,40

0,48

25,1

26,5

65,9

61,5

9,0

12,0

-1,5

28

Составитель Ю. Герасичкии

Редактор Н. Бобкова Техреа М. Надь .Корректор А. Ференц

Заказ 6286/78 Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж«35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение позволяет повысить электрическое сопротивление до 5 -10—

Q 5 10> Ом и термостабильность тонкоплейочных резисторов и изготовлять на их основе приборы с высокой прецизионностью и надежностью. формула изобретения

Резистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения электрического сопротивления, сни-. жение температурного коэффициента сопротивления и уменьшения абсолютног® дрей-I фа сопротивления, он содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес. %:

Кремний 57-65,9

Тита н 25,1-28

Кобальт 9-1 5

Источники информации, принятые Во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

J4 414917, кл. Н 01 С 7/00, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

N> 624443, кл. Н 01 С 7/00, 1977 . (прототип) .