Устройство для ориентации подложек

Устройство для ориентации подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

„„957322

ОП ИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 23.02.81 (21) 3253603/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. К .

Н 01 L 21/68

Н 05 К 13/02

Государственный комнтет (53) УДК 621.382 (088.8) Опубликовано 07.09.82. Бюллетень № ЗЗ

Дата опубликования описания 17.09.82 по делам нзобретеннй н открытий (72) Авторы изобретения

В. П. Ершов, К. М..Рагульскис и P. В. К. Улозас

4 (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к изготовлению блоков элементов электрической аппаратуры, в частности к устройствам для изготовления печатных схем и может быть применено, преимущественно, для прецизионного автоматического позиционирования объектов, используемых в установках совмещения.

Известно устройство для ориентации подложек, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, и толкатели.

В качестве толкателей использованы биморфные пластины (1J.

Недостаток этого устройства заключается в том, что биморфные пластины развивают незначительные осевые усилия (порядка 100 гс) .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство ориентации подложек, содержащее установленный на основании координатный стол в виде плиты с выступами и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола (2) .

К недостаткам этого устройства относится малый диапазон регулировки ориентации. По опытным данным пьезокерамические элементы имеют относительное удлинение порядка 7.10 . При применении .магнитострикторов последние потребляют большие токи, вследствие чего конструкция имеет дополнительные деформации. Абсолютная деформация магнитострикционных материалов ниже, чем у пьезокерамики.

Цель изобретения — расширение диапазона перемещений.

Указанная цель достигается тем, что, в устройстве для ориентации подложек, содержащем установленные на основании координатный стол в виде плиты с выступами и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола, каждый толкатель снабжен набором пьезоэлементов, каждый из которых охвачен П-образной скобой, размещен20 ной со стороны пьезокерамического элемента.

Каждый толкатель снабжен планкой, соединенной с набором пьезоэлементов и шарнирно соединенной с основанием.

957322

3 ! 1»;.зокерамический элемент каждого толh:-ITi,1я В! и!олнсн из отдель!!ых олоков и IIIBp-!

l .I;!I!() закрсllëåí на одном из выступов плит!,! координатного стола.

На фиг. и 2 изображено предлагаемое ус.!ройство, общий вид; на фиг. 3 — толка- 5 те,!ь плиты.

Устройство для ориентации подложек содержит координатный стол 1 и основание 2. Координатный стол 1 выполнен в виде плиты с выступами 3, установлен на

«сповании 2 на упругих элементах 4 и снаб1О жеп толкателями, выполненными в виде пьезокерамического элемента 5 и набора 6 пьезоэлементов. Пьезокерамический элемент выполнен из нескольких блоков 7. Набор 6 содержит пьезоэлементы 8, которые охвачены П-образной скобой 9. К последней приклеивается пьезокерамический элемент

5. Пьезоэлемент 8 набора 6 приклеивается к пластине 10 через держатели 11. Сама пластина 10 установлена на основании 2 посредством шарнира 12. В данной конструкции взяты два набора пьезоэлементов.

В зависимости от перемещения их можно набирать блоком. Пьезокерамический элемент 5 закреплен на выступе 3 плиты шарнирно.

Устройство работает следующим образом.

При подключении постоянного электрического напряжения соответствующей полярности на пьезоэлементы 8 последние уменьшают линейные размеры и деформируют П-образные скобы 9, передавая свое зп перемещение пьезокерамическому элементу 5. К пьезокерамическому элементу 5 также подводится напряжение, за счет чего он изменяет линейные размеры (удлиняется, укорачивается) пропорционально подаваемому на него напряжению. Общее переме- з5 щение толкателя будет равно сумме удлинителя, элемента 5 и изгибочной деформации скоб 9. Толкатель, соединенный с выступом 3 плиты через шарнир 12, при изменении своих линейных размеров передает движению плите. Шарниры 12 позволяют толкателю свободно принимать любое положение под углом по отношению к плите при ее вращении. Путем соответствующего изменения перемещения каждого из двух противоположных толкателей можно получить перемещение плиты по одной из координат Х и У, а путем соответствующего изменения перемещения всех четырех толкателей — вращение плиты вокруг своей оси. Таким образом плита получает линейные перемещения по координатам Х и Y u поворот на угол в одной плоскости.

Использование предлагаемого устройства позволяет расширить диапазон перемещения ориентации подложки до 0,5 мм, что достигается за счет особой конструкции толкателей, закрепленных с обеих сторон шарнирно.

Формула изобретения

1. Устройство для ориентации подложек, содержащее установленный на основании координатный стол в виде плиты с выступами и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона перемещений, каждый толкатель снабжен набором пьезоэлементов, каждый из которых охвачен П-образной скобой, размещенной со стороны пьезокерамического элемента.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждый толкатель снабжен планкой, соединенной с набором пьезоэлементов и шарнирно соединенной с основанием.

3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что пьезокерамический элемент каждого толкателя выполнен из отдельных блоков и шарнирно закреплен на одном из выступов плиты координатного стола.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ФРГ № 2452068, кл. Н 01 L 21/68.

2. Патент США № 4019109, кл. 318 — 640, опублик. 19.04.77.

957322

Составитель 3. Яшина

Редактор А. Лежнина Техред А. Бойкас Корректор Н. Король

Заказ 6612/43 Тираж 76! Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4