Травильный раствор

Травильный раствор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 20.02.81 (2>) 3250270/29-33 (51) М. Ктт.

Союз Советских

Социалистических

Республик ф с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

С 03 С 15/00 Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (33)УДК 666.1. . 053.63 (088. 8) Опубликовано 3009.82. Бюллетень ¹ 36

Дата опубликования описания 30.09.82 (72) Авторы изобретения

Л.В.Кондакова, В.A.Ìèõàéëoâà, И.С.Кабаева, и Е.М.Теренкова (71) Заявитель (54) ТРАВИЛЬНЫИ РАСТВОР

1 2 . 3

40

30 кгСО

10

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, а именно к обработке поверхности стеклянной подложки травлением.

Известен травильный раствор j1 ), включающий, вес.%:

HF 19-32

ИН4 19-32 но Остальное

Этот раствор используют при изготовлении фазовых рэндомизирующих масок путем создания рельефа. Глубина вытравливания составляет 0,03 мкм.

Наиболее близким к предлагаемому по составу является травильный раствор (2), включающий, вес.ч:

HF 10

КгСО 3

ИН4Е 3

Указанная травильная смесь применяется для матирования стекол с высоким содержанием Вг03. Однако этот раствор не может обеспечить заданный класс шероховатости поверхности.

Цель изобретения — обеспечение шероховатости 0,32-0,40 мкм.

Указанная цель достигается тем, что травильный раствор включающий

HF, ННННГ и КгСОз, дополнительно со» держит KF HF и,К Cr O при следующем соотношении комйойентов,вес.%:

HF 40-60

Ш4F 10-30

КгСОз 10-20

KF HF 3-5

КгСтгОт 5-10

Введение в комплекс KF HF и КгСЩ обеспечивает высокое качество получаемой поверхности, ее тонкозернис« тую одноРодную структуру, регламентирует получение параметра шероховатости R 0,32-0,40.

От качественного состояния поверхности стеклянных или кварцевых подложек, на которые наносится микропленка, зависит в конеином итоге и качество изготавливаемого в целом полупроводникового прибора.

В таблице приведены составы травильного раствора.

Компо- Содержание, вес.%, в составах

962233

Продолжение таблицы

1 ненты

1 2

Ю

KF.;,Í,"F

К С г О

ИН, Р

3 5

30

Составитель О. Самохина

Техред М. Надь

Корректор Г. Решетник

Редактор Ю. Ковач

Заказ 7418/34 Тираж 508 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Компо- Содержание, вес.Ф, в составах

П р и м е ч а н и е. Шерохова- тость обработанной поверхности в составах 1-3 составляет 0,36, 0,32 и 0,40 мкм соответственно. IS

Процесс обработки заключается в следующем.

Пластины из стекла, в том числе кварцевого, обезжиривают в 5В-ном растворе фтористоводородной кислоты HF, далее помещают в травильную смесь предлагаемого состава и обрабатывают при 60-70 С в течение 710 мнн. Затем детали извлекают из раствора, нейтрализуют в 3-5%-ном растворе аммиака, промывают последо.вательно в проточной и дистиллированной воде и просушивают в сушильном шкафу 5-7 мин при 50-70 С.

Использование изобретения в полупроводниковой технике дает возможнФсть улучшить качество изготавливаемых приборов и заменить дорогостоящий процесс механической обработки поверхности стекла на химический.

Приборы с использованием подложек, обработанных предлагаемым составом, найдут применение в медицине, электровакуумной косщаческой технике, электронике.

Формула изобретения

Травильный раствор, включающий

HF) NHgF и Е1СО3, о т л и ч а ющ с я тем, что, с. целью обеспещийс чения шероховатости 0,32-0,40 мкм, он дополнительно содержит KF HF и К Сг Ст 0 при следующем соотношении компонентов, вес.%:

HF 40-60

NHg F 10-30

K 2ÑOÇ 10 20

KF;HF 3-5

К дСг1О т 5-10

Источники информации, принятые во внимание при и экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 703513, кл. С 03 С 15/00, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

256188, кл. С 03 С 15/00, 1967.