Способ позиционирования оптических узлов и функциональных поверхностей с прерывностями в зоне оптической оси

Способ позиционирования оптических узлов и функциональных поверхностей с прерывностями в зоне оптической оси

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социапистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (89) 142824 (ГДР) (6!) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 31. 03. 78 (21) 7770147/18-10 (23) Приоритет - (32) 29 04 ° 77 (31) ЫР602В/198653 (33) ГДР

Опубликовано 30. 09. 82, Бюллетень И 36 (51)M. Кл.

6 02 В 7/00

ЯЬеударетвапвй квинтет

СССР яо делам язабретеняй н открытий (53) УДK 681. .4.072(088.8) Дата опубликования описания 30. 09. 82 (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Гуиенот Фолкер и Хопфе Хельмут (ГДР) Иностранное предприятие

"Феб Карл Цейсс Иена" (ГДР) (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОПТИ4ЕСКИХ

УЗЛОВ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

С ПРЕРЫВНОСТЯМИ В ЗОНЕ ОПТИЧЕСКОЙ ОСИ

Изобретение касается способа позиционирования оправленных оптических деталей и узлов, обобщенно называемых оптическими элементами, с одной или несколькими преимущественно сферическими функциональными поверхностями, ( как, например, линзы или веркала, в области оптической оси которых имеются нарушения непрерывности в виде от« верстий и/или зеркальных покрытий, выемок, маркировок или прочих структурных поверхностей или укрепленных дополнительно на функциональных поверхностях деталей.

Изобретение позволяет сориентировать оптическую ось таких оправленных элементов с помощью косвенного способа на опорную ось, определенную пуч" ком электромагнитного излучения и за тем, обрабатывая наружные поверхности деталей оправы, выполнить центрирование так, чтобы оптическая и reo" метрическая оси этих оптических элементов совпадали при дальнейшем их

2 применении, особенно в заполняемых оправах объективов телескопов и зрительных труб или проекционных объективов»

Кроме того, изобретение позволяет определять и Фиксировать расстояние между оптическими функциональными па верхностями в пределах одного или между различными оптическими элементами названного типа в заполняемых оправах.

Изобретение применимо особенно дпя -позиционирования оптических эле- . ментов, которые, например, в фотолитографических проекционных аппаратах,. в зеркальных объективах для фотографии и астрономии и в объективах зрительных труб для автоматических геодезических приборов высшей точности могут обеспечить новые принципы конструирования оптических систем.

° Известны способы и устройства для центрирования по направлению оптигческих элементов и узлов с оправами

3 96282 в виде колец или цилиндров, у которых отклонения центра кривизны оптических функциональных поверхностей для юстировки относительно определенной оси, преимущественно оси вращения оправленного элемента, исправлявтся при помощи метода отражений.

Центрирование проводится снятием стружки при обработке краев оправоч-. ,ных колец так, чтобы оправленные on- tg

:тические узлы были пригодны для применения в заполняемых оправах (DDR-WP80998). Для этого, кроме того, имеется возможность автоматизации, повышающей производительность 15 (0DR-WP112316) .

Известен метод отражений с повышенной чувствительностью, особенно для обнаружения отклонений центрирования у объективов микроскопов с малыми несоосностями (DDR-ЧР113816).

К известным техническим решениям относится также способ центрирования оптических элементов с помощью метода отражения с использованием созданного р автоколлимационным устройством светового луча в качестве опорной оси, причем возникающие из-за имеющейся несоосности электрические сигналы преобразуются в цифровом вычислительном устройстве для регулирования линзового манипулятора или исполнительных звеньев (DDR-АР96337).

Для оправленных оптических узлов всех радиусов кривизны известно, кроме того, применение лазерного интерферометра, причем центрирование производится наложением центров систем интерференционных колец отдельных оптических поверхностей до их совпа40 дения на перекрестии наблюдательного устройства.

На принципе лазерной интерферомет- . рии основан также известный способ позиционирования неоправленных оптических линз, при котором корректируется разброс дифракционных точек„ возникающих на индикаторном экране при пропускании светового луча лазера через согласующую оптическую систему с диафрагмой после прохождения цент- @ рируемых оптических элементов (BRD"AS2324872).

Главный недостаток известных интерферометрических способов центрирования по направлению состоит в том, что для определения ошибки центрирования вся центрирующая система должна быть установлена исключительно

6 4 жестко, так как колебания с ничтожными амплитудами делает картины интерференции непригодными. Поэтому невозможно добиться высокой производительности, сохраняя высокую точность измерений.

Наряду с известными способами центрирования по направлению, основан ными на прямых измерениях и коррекции отклонений центров кривизны функциональных поверхностей центрируемых оптических элементов относительно определен ой опорной оси, был предложен также косвенный способ центрирования по направлению оправленных оптических элементов с применением вспомогательных линз, в качестве которых используются эталонные линзы, не требующие дополнительной юстировки. Эталонные линзы имеют. преимущественно симметричные сферические поверхности с радиусами кривизны 100- 150 мм соответственно оптимальной оценке чувст.вительности применяемо" при этом комбинации из лазерной интерферентометрии и метода отражения. Оптическая ось центрируемого оптического узла ориентируется не прямо на опорную ось, определенную пучком электромагнитного излучения, а на оптическую ось системы эталонных линз, которая в своа очередь просто и точно ориентируется на определенную пучком электромагнитного излучения опорную ось. В итоге центрирование реализуется тем, что точной. обработкой поверхности оправы добиваются совпадения геометрической оси оправленного оптического элемента с оптической осью системы эталонных линз.

Недостатком всех известных спосоI бов позицирования или центрирования по направлению оптических элементов является то, что юстировка и центрирование оптических элементов с нарушениями непрерывности функциональных поверхностей в области оптической оси в виде отверстий и/или зеркальных покрытий, выемок, маркировок или других структурных поверхностей или укрепленных дополнительно на функциональных поверхностях деталей вообще невозможны или проводятся с недостаточной точностью. Не всегда возможно определить и установить расстояния между оптическими функциональными поверхностями в пределах одногб или между различными оптическими элементами в заполняемых оправах, если оп26

5 9628 тические функциональные поверхности имеют нарушения непрерывности в области оптической оси. Сохраняющиеся частичные сферические поверхности у этих оптических элементов представ- S ляют собой поверхности шаровых поясов, которые при применении известных способов центрирования или позиционирования ведут к большим потерям света, затрудняя тем самым или 16 делая вообще невозможной регистра дию ошибок центрирования или позиционирования.

Цель изобретения заключается в устранении недостатков известных или 15 предложенных способов.

Согласно изобретению предлагается способ, благодаря которому становится возможным позиционирование .оптических элементов с высокой точ- Ю ностью и производительностью, которые в соответствии с известными тех- ническими решениями не поддаются оптическому позиционированию, так как из-за нарушений непрерывности их 25 оптических функциональных поверхностей в области оптической оси отсутствует необходимая для измерений и коррекции по известным методам зона оптических функциональных поверхностей. щ

Задача изобретения состоит в том, чтобы обеспечить выявление и измерение ошибок центрирования и их устранение посредством косвенного способа у определенных оптических элементов и узлов, у которых преимущественно сферические функциональные поверхности в области оптической оси имеют нарушения непрерывности в виде отверстий и/или зеркальных покрытий, выемок, маркировок или других структурных поверхностей или дополнительно укрепленных на функциональных поверх" ностях деталей, так как прямое измерение отклонений центра кривизны относительно опорной оси невыполнимо изза отсутствия осевой точки у этих оптических функциональных поверхностей.

Кроме того, задачей изобретения является предотвращение сильных потерь света, которые возникают при измерении несоосности из-за наличия опти" ческих поверхностей шаровых поясов.

Задача изобретения состоит также в том, чтобы несмотря на наличие наруИ шений непрерывности названного типа оптически определить осевые расстояния между оптическими функциональными поверхностями и зафиксировать их путем последующего механического метода обработки краев оправы.

Согласно изобретению задача решается с помощью способа позиционирования оправленных оптических элементов и узлов с одной или несколькими преимущественно сферическими функциональными поверхностями, как, например, линзы или зеркала, которые в области оптической оси имеют нару-. шения непрерывности в виде отверстий и/или зеркальных покрытий, выемок, маркировок или прочих структурных по верхнастей или дополнительно укрепленных частей на функциональных поверхностях, ориентируемые и центрируемые оправленные оптические элементы и узлы в оправе соответственно числу оптических функциональных поверхностей временно жестко соединяются с одно- или многократно применяемыми центрировочными эталонами.

Применяемые многократно центрировочные эталоны изготовляются в виде оптических линз с преимущественно сферическими контактными поверхностями, которые прилегают к шаровым, поясам функциональных поверхностей центрируемых оптических элементов и имеют удаленную от оптических элементов преимущественно сферическую фронтальную поверхность, причем радиус кривизны контактных поверхностей идентичен с радиусом кривизны функ-, циональных поверхностей, а центр кри,визны фронтальных поверхностей совпадает или не совпадает с центром кривизны функциональных поверхностей центрируемого оптического элемента.

Для позиционирования оптических элементов с одной только функциональной поверхностью в форме шарового

Пояса применяются центрировочные эталоны в форме линзы.

В случае наличия нарушений непрерывности на функциональных поверхностях оптических элементов применяются линзовые центрировочные эталоны с углублениями на сферической контактной поверхности.

Центрировочные эталоны разового применения изготовляются в виде вогнутых зеркал, у которых преимущественно сферическая зеркальная фронтальная поверхность имеет такой же радиус кривизны, как и функциональные поверхности в виде шаровых поясов центрируемых оптических элементов, и которые так соединяются с этими

962826 8 оптическими элементами, что центры кривизны зеркальных фронтальных поверхностей центрировочных эталонов совпадают с центрами кривизны Функциональных поверхностей ориентируемых оптических элементов.

За счет того, что центры кривизны функциональных поверхностей в виде шаровых поясов соответствующего оп- . тического элемента и прилегающих сферических контактных поверхностей центрировочных эталонов совпадают, -предлагаемый способ позволяет выполнить юстировку и центрирование оптических элементов, считавшихся прежде оптически непозиционируемыми.

Путем прямой пригонки сферических функциональных поверхностей или отклонений центров кривизны центрировочных эталонов оптическая ось времен- но объединенной системы из оправленного оптического элемента и центрировочного эталона доводится до совпадения с опорной осью, определяемой пучком, электромагнитного излучения.

Центрированная объединенная система из оправленного оптического эл мента и центрирующего эталона устанавливается на рабочем шпинделе особо точного токарного станка или круглофрезерного станка, и путем обработ- ки наружных поверхностей оправы опти-!

;ческого элемента добиваются совпа, дения его .геометрической оси. с оптической осью центрировочного эталона. Таким образом обеспечивается определение осевых расстояний между оптическими функциональными поверх .ностями оптических элементов посредством измерения осевых точек центрирующих эталонов известной толщины и фиксирование их в ходе обработки

:краев оправочных колец.

На Фиг. 1 представлено позиционирование оптического элемента со сферической поверхностью с нарушением непрерывности в области оптической оси в виде отверстия; на фиг. 2позиционирование оптического элемен та с двумя сферическими поверхностями и одним отверстием в области опти" .ческой оси,причем для каждой сфери"ческой поверхности применяется цент.рировочный эталон постоянной толщи" ны," на фиг. 3 " позиционирование оптического элемента и структурной no" верхности на сферической функциональной поверхности в области оптической оси; на фиг. 4 - позиционирование вогнутого зеркала с отверстием в зоне оптической оси.

Просверленный в области оптической оси С 1/С + и С2 оптический элемент 1 (например, зеркало) со сферической функциональной поверхностью

11,радиус кривизны которой В„, с нефункциональной поверхностью 16 необходимо сориентировать, отцентри1в ровать и .замерить и зафиксировать осевое голожение его функциональных поверхностей относительно других оптических элементов (фиг ° 1).

ОптИ4еский элемент 1 крепится в д предварительно обточенной оправе 13 кольцом 1g. На первом этапе центрировочный эталон в виде линзы 2 со сферической контактной поверхностью

21, имеющей тоже радиус кривизны R+ ро и со сферической фронтальной поверхностью 23 с радиусом кривизны г временно соединяется посредством другого кольца 22 с оптическим элементом 1 так, чтобы его функциональная поверхность 11 и контактная поверхность 21 центрировочного эталона

2 плотно прилегали друг к другу.

При этом r<> можно выбирать независимо от R так, чтобы можно было

З© использовать, с одной стороны, согласование центров кривизны С, и М, необходимое для систематическои юстировки как описано на примере s

DDR-ЧР8О998, и, с другой стороны, оптимальную зону чувствительности

35 применяемого для выявления ошибок метода анализа, Кольцо 22 соединяется с кольцом 15 посредством резьбы. B результате этого на первом этапе согласно способу центр кривизны С+, .сферической функциональной поверхности 11 оптического элемента 1 и центр кривизны С,1 сферичнской контактной поверхности 21 центрировочного эталона 2 совмещаются, так как фР обе поверхности имеют один и тот же радиус кривизны R+ .

На следующем этапе объединенная ,система из оптического элемента 1 и центрировочного эталона 2 крепится

@ посредством вспомогательной резьбы

14 в оправе 13 на осевом настроечном дорне 41 шарового шарнира 4 (no

00R-14Р80-988 или 00В-MP11316), который установлен непосредственно на рабочем шпинделе (не показан) цент рировочного станка. Стабильность креп :ления обеспечивается контргайкой 42.

С помощью настроечного дорна 41 нуж96282 но согласовать центр кривизны С центрировочного эталона 2 или совмещенные (по.РОК-WP80998} центры кривизны С /C!j по оси с центром кривизны И шаровои полусферы 43 так, чтобы эти центры лежали в плоскости, перпендикулярной оси механической . обработки рабочего шпинделя.

C помощью устройства, работающего на принципе отражений и шарового шар- !О нира 4 проводится дальнейшее центрирование по направлению путем измерения и коррекции отклонения центров кривизны Cg и Cg центрировочного эталона 2 относительно пучка электро магнитного излучения устройства 5, служащего в качестве опорной оси

А-А (согласно 00R-БОРЗО-998 или

00R-ЯР!12316). Поскольку осевая точка S« контактной поверхности 21

20 центрировочного эталона 2 теперь идентична осевой точке S функциональной .поверхности !1 оптического элемента 1, а толщина К центрирую щего эталона 2 как расстояние между вершинами S „ и S q контактной поверхности 2Г и фронтальной поверхности 23 известна, то для усовершен. ствования позиционирования оптического элемента 1 и определения и фиксирования расстояния по воздуху к ближайшей линзе других оптических элементов в заполняемых оправах раз мер L можно определить механическим, пневматическим, электрическим или оптическим образом.

Центрирование оправленного и ориентированного оптического элемента 1 заканчивают точной обработкой внешней поверхности предварительно рбточенной оправы 13. Путем обработки краев оправы 13 на поверхности 17 устанавливается определенный прежде размер L для обеспечения осевого расстояния в заполняемой оправе до расположенного рядом оправленного оптического элемента ° После этого откручивают кольцо 22 и центрировочный эталон 2 снимают для повторного при- менения. Благодаря этому оправленный, ориентированный и отцентрированный оптический элемент может применяться в заполняемых оправах, причем одновременно гарантируются расстояния до других, расположенных рядом, опти" ческих элементов для усовершенствования позиционирования.

Необходимо произвести позициони- рование оптического элемента (напри6, 10 мер, кольцевой линзы) с двумя сферическими функциональными поверхностями 1! и 12, с радиусами кривизны К,!! и Р„ и с отверстием в области оптической оси С!,!"С !. Кольцом 15 элемент жестко соединен с предварительно обточенной оправой 13 (фиг. 2).

На первом этапе аналогично первому примеру центрировочный эталон 2 со сферической контактной поверхностью 21, радиус кривизны которой также Й„„, и со сферической фронтальной поверхностью 23 с радиусом кривизны г, посредством второго кольца 22 временно соединяется с опти.ческим элементом 1 так, чтобы его функциональная поверхность 11 и контактная поверхность 21 .центрирующего эталона 2 плотно прилегали друг к .другу. К центрировочному эталону 2 предъявляется такое требование, чтобы радиусы кривизны R и г имели общий центр, это значйт, толщина К центрировочного эталона 2 должна быть постоянной по всему его диаметру. Поскольку контактная поверхность 21 центрировочного эталона 2 и функциональная поверхность ll оптического элемента 1 имеют одинаковый радиус кривизны й,, то и центр кривизны С„„ функциональной поверхности 11 совмещен с общим центром кривизны С /С центрировочного эталона 2.

На следующем этапе временно соединяют второй центрировочный эталон 3 с оптическим элементом 1 посредством кольца 32, котброе свинчено с предварительно обточенной оправой 13. Сферическая контактная поверхность 31 центрировочного эталона 3 плотно прилегает к сферической функциональной поверхности 12, так как оба радиуса кривизны одинаковы и равны R<

Центрировочный .эталон 3 имет также сферическую фронтальную поверхность

53 с радиусом кривизны г . К центрировочному эталону 3, как и к центрировочному эталону 2, предъявляется требование, чтобы радиусы кривизны R<< и r имели общий центр> это значит, толщина К центрировочного эталона 3 постоянна по всему его диаметру. Так как контактная поверхность

31 центрировочного эталона 3 и функциональная поверхность 12 оптического элемента 1 имеют один и тот же радиус кривизны R <, то и цент кривизны С1 функциональной поверхности 12

962826

11 совпадает с общим центром кривизны

С .! /С центрировочного эталона 3.

Затем объединенная система из оправленного оптического элемента 1 и укрепленных на нем съемных центрировочных эталонов 2 и 3 крепится посредством вспомогательной резьбы 14 на осевом настроечном дорне 41 шаро вого шарнира 4, который расположен непосредственно на рабочем шпинделе !е (не показан) центрирующего станка.

Надежность крепления обеспечивает контргайка 42. Совпадающие центры кривизны С,„, С /С или С,, С /С по выбору с помощью настроечного . и дорна 41 (по DDR-MP80-998) согласуют по оси с центром кривизны И шаровой полусферы 43 так, чтобы эти точки лежали в плоскости, перпендикулярной оси механической обработки рабочего 2р шпинделя. Дальнейшее центрирование по направлению опорной оси А-А с заключительной обработкой наружных поверхностей оправы проводится так, как описано в первом примере. Ана- 6 .логичным способом по известным тол щинам К и К центрировочных элементов, 2 и 3 могут быть определены расстояния по воздуху до ближайших оптических элементов в заполняемых оправах и, кроме того, толщина 0 линзы оптического элемента 1.

Необходимо ориентировать и центрировать оптический элемент 1 со

".òðóêòóðHûèè поверхностями, маркировкой, покрытиями, обозначениями в области оптической оси. С, -С в зоне диаметра 4 или с дополнительно закрепленными на функциональной поверх ности 11 деталями (фиг, 3). СфериI6 ческая функциональная поверхность 11 с перечисленными выше нарушениями непрерывности имеет радиус кривизны

R с центром кривизны С,ц,1, а вторая сферическая поверхность 12 - радиус кривизны В и ее центр С д .

4Я.В данном примере функциональная поверхность 12 для наглядности показана без нарушений непрерывности. Од" нако 3-Й пример с дополнениями из

;2-ro примера применим и в тех случаях, когда имеются оптические элементы, oGe оптические функциональные поверхности которых имеют нарушения непрерывности в области оптической оси, Оптический элемент 1 указанного типа крепится кольцом !5 в предварительно обработанной оправе 13, 12

Аналогично двум первым примерам, сначала центрировочный эталон, сферическая контактная поверхность 21 которого имеет выемку 24 вне зоны нарушения непрерывности, временно соединяют вторым кольцом 22 с олтическим элементом 1 так, чтобы сферическая функциональная поверхность ll последнего и сферическая контактная nîверхность 21 центрирующего эталона 2, имеющая также радиус кривизны R<<, плотно прилегали друг к другу. В отношении центрировочного элемента ставится требование, чтобы радиусы кривизны контактной поверхности 21 (Я < ) и фронтальной поверхности 23 (r > ) имели одинаковый. центр кривизны С /С, это значит, что толщина

К центрировочного эталона 2 по всему диаметру, за исключением выемки, постоянна, Вследствие равенства радиусов кривизны функциональной поверхности Il и контактной поверхности 21. центр кривизны С, функциональной поверхности !1 оптического элемента 1 также совпадает с общим центром кривизны С „ /С центрировочного эталона 2.

На втором этапе объединенная система из оправленного оптического элемента l и закрепленного на нем съемного центрировочного эталона 2 посредством вспомогательной резьбы 14 крепится на осевом настроечном дорне

41 шарового шарнина (не показан), который устанвливается непосредственно на рабочем шпинделе (не показан) центрировочного станка. Стабильность крепления обеспечивается контргайкой 42. Выборочно совмещаеwe точки С „ /(/С или центр кривизны С сферической функциональной поверхности 12 оптического элемента с помощью настроечного дорна

4 I. располагают по оси с центром кривизны полусферы шарового шарнира (согласно D0R-МР80-998 или I!2316) так, чтобы они лежали в плоскости, перпендикулярной оси механической обработки рабочего шпинделя.

Дальнейшее центрирование по направлению заключается в измерении и корректировке отклонений центров кривизны С и С, образующих оптическую ось объединенной системы, от опорной оси А-А, по обеим сторонам которой (в соответствии с DDR-WP80-998 или 0DR-MP112316) расположены устройства, работающие на принципе обФормула изобретения

Способ позиционирования оптических узлов и функциональных поверхностей с прерывностями в зоне оптической оси, например линз или зеркал, имеющих в области оптической оси нарушения непрерывности в виде отверстий и/или зеркальных слоев, выемок или дополнительно закрепленных на функциональных поверхностях частей, отличающийся тем, что ориентируемые, и центрируемые оптические элементы и узлы в оправе соответственно числу нарушений непрерыв ности оптических функциональных поверхностей временно жестко соединяют" ся с одно- или многократно применяемыми центрировочными.эталонами.

2. Способ по и. 1, о т л и ч а ю— шийся тем, что повторно применяемые центрировочные эталоны изготовляются в виде оптических линз с преимущественно сферическими контактными поверхностями, которые прилегают к шаровым поясам функциональных поверхностей центрируемых оптических элементов и имеют преимущественно сферические фронтальные, удаленные

13 96282 рамлений 5 и 6. При этом выходные пучки ориентированы на общую ось, которая одновременно образует опорную ось А-А и совпадает с осью обработки центрировочного станка, 5

Центрирование и определение расстояний до ближайших оптических элементов в заполняемой оправе завершают ,аналогично 1-му примеру точной обработкой поверхностей или обработкой 16 краев предварительно обточенной оправы 13.

Необходимо провести позиционирование просверленного в зоне оптической оси оптического элемента 1 (на- 1% пример, вогнутого зеркала) со сфери" ческой зеркальной функциональной по" верхностью 11, радиус кривизны которой R<<, и с нерабочей плоской тыльной поверхностью 16 (фиг. 4).

Первый этап способа заключается в том, что перед окончательной обработкой и нанесением зеркального слоя на сферическую функциональную поверхность 11 оптический элемент 1 его 25 задней поверхностью 16 соединяют, например, посредством прижатия до слипания или приклеивания с центриро" вочным эталоном 2, фронтальная поверхность 23 которого у краев тоже плоская. В области оптической оси

1 фронтальная поверхность 23 центрировочного эталона 2 обработана в виде

:сферической поверхности. В результате окончательной обработки объединенной системы из оптического элемен та 1 и центрировочного эталона 2 функциональная поверхность оптического элемента 1 и фронтальная поверх ность 23 центрировочного эталона 2 согласуются по радиусу кривизны В„„ а центры кривизны С и С,2 совпадают. После нанесения зеркального слоя оптический элемент 1 с закрепленным на нем центрировочным эталоном 2 за4S крепляется кольцом 15 в предварительно обработанной оправе 13.

На втором этапе находящаяся в on" раве 13 объединенная система из оптического элемента 1 и центрирующего эталона 2 посредством вспомогательной резьбы 14 закрепляется на осевом на- строечном дорне 41 шарового. шарнира, установленного на рабочем шпинделе (не показан) центрировочного станка.

Контргайка 42 обеспечивает стабильность крепления. В данном случае не требуется осевая настройка совмещения центров кривизны С 1 /С с центром

% кривизны шаровой полусферы 43 в общей плоскости, перпендикулярной к оси обработки, необходимо лишь параллельное перемещение или опрокидывание.

Дальнейшее центрирование по направлению проводится, как и в 1-м примере, с помощью устройства 5, работающего на принципе отражений, выходной пучок которого ориентирован на ось обработки центрировочного станка и образует в то же время опорную ось

А-А, на которую центр кривизны С фронтальной поверхности 23 центриророчного эталона 2, идентичный центру кривизны С оптического элемента, настраивается путем параллельного перемещения или опрокидывания. После того, как оправленный оптический элемент 1 ориентирован, центрирование и определение расстояний до ближайших оптических элементов в заполняемой оправе завершается аналогично 1-му примеру путем обработки поверхностей или краев оправы 13. Центрировочный эталон 2, применяемый в этом случае только один раз, снимают с оптического элемента, отжимая или отклеивая его.

15 96282 от оптических элементов поверхности, причем радиус кривизны контактных поверхностей одинаков с радиусом кривизны функциональных поверхностей, а центр кривизны фронтальных поверхностей совпадает или не совпадает с центром кривизны функциональных поверхностей центрируемого оптического элемента.

3. Способ по пп. 1 и 2, о т л и - 1в ч а ю шийся тем, что применяются центрировочные эталоны в форме линз.

4. Способ по пп. 1 и 2, о т л ич а ю шийся тем, что применяются линзовые центрировочные эталоны с yr- <» лублениями на сферической контактной поверхности.

5. Способ no n. 1, о т л и ч а ю " шийся тем, что в качестве центрировочного эталона одноразового применения можно использовать вогнутые зеркала, у которых преимущественно сферические зеркальные фронтальные поверхности имеют такой же радиус кривизны, как и функциональные поверхности центрируемых оптических weментов, и которые так соединяются с оптическими элементами, что центры кривизны фронтальных поверхностей центрировочных эталонов совпадают с центрами кривизны функциональных поверхностей ориентируемых оптических элементов.

Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной

8едомством по изобретательству Германской Демократической Республики.

962826

Тираж 518 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретерий и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7501/63

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Н, Вашковская

Редактор В. Петраш Техред 3. Палий Корректор Н, Буряк