Высоковакуумный агрегат

Высоковакуумный агрегат

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(72) Авторы изобретения

Н. С. Балакин и С. И. Мирошкин

{7!) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен высоковакуумный агрегат, содержащий корпус с входным патрубком и размещенную в нем внутри охлаждаемых 5 экранов криопанель (1) .

Известный агрегат обладает низким коэффициентом захвата по неконденсируюшимся газам, накопление. которых влечет за собой ухудшение предельного вакуума насоса.

Бель изобретения - повышение эффективности откачки неконденсируемых газов.

Указанная цель достигается тем, что агрегат снабжен диэлектрическими, втул» хами, концентрично установленными во входном патрубке и имеющими со стороны входа патрубка электроизолированные кольцевые электроды, магннтопроводом, oxsa 20 тываюшим втулки, и источником электронов, закрепленным на корпусе, а экран, расположенный со стороны входного.патрубка, выполнен из геттерного материала, н тем, что в корпусе установлен дополнительный экран, присоединенный с тепловым- контактом к охлаждаемым экра нам и образующим с ними полость, а ис точник электронов размешен в последней.

На фиг. 1 показан предлагаемый агре» гат, разрез; на фиг. 2 — вид со стороны входного патрубка агрегата.

Высоковакуумный агрегат- содержит корпус 1.с входным патрубком 2 и раз» мешенную в нем внутри, охлаждаемых эк ранов 3 и 4 криопанель 5. Агрегат сиаб жен диэлектрИческими втулками 6, кон нэнтрично установленными во входном па трубке 2 и имеющими со стороны входа патрубка 2 электроизолированные кольце вые электроды 7, магнитопроводом 8, охватывающим втулки, и источником 9 электронов, закрепленном на корпусе, а экран 4, расположенный со стороны вход ного патрубка 2, выполнен из геттерного материала. В корпусе 1 установлен допол

3 9642 нительный экран 10, присоединенный с реп ловым контактом к охлаждаемым экранам

3 и 4 и образующий с ними полость 11, а источник электронов 9 размещен в последней, %

Высоковакуумный агрегат работает следующим образом.

После предварительной откачки до давления р с 1 10 + мм. рт. ст. криопанель охлаждается и осуществляется о 1О качка газа до давления с 1 10 4 мм. рт. ст. После этого включаетс.я источ.ник 9 электронов. При возникновении напряжения между кольцевыми электродами 7, выполняющими функцию анода, и ts источником 9 в скрещенных электрическом и магнитном полях возникает устойчивый электрический разряд в среде откачиваемого газа, поступающем из откачиваемого объема, при этом газ ионизируется. Ионы направляются к экрану 4, выполненнному из геттерного материала и распыляют его поверхность. Атомы геттера конденсируют. ся на экране 10, имеющем низкую температуру, благодаря чему увеличивается коэффициент захвата и эффективность откачки неконденсирующихся газов.

Ф.

Предлагаемый высоковакуумный агрегат имеет быстроту действия более, чем

25 ф в 2 раза превышающую быстроту дейст вия известного устройства.

Формула изобретения

1. Высоковакуумный агрегат, содержащий корпус с входным патрубком и размещенную в нем внутри охлаждаемых экранов криопанель, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения эффективности откачки неконденсирующихся газов; агрегат снабжен диэлектрическими втулками, концентрично установленными во входном патрубке и имеющими со сто роны входа патрубка электроизолированные кольцевые электроды, магнитопроводом, охватывающим втулки, и источником электронов, закрепленным на корпусе, а экран, расположенный со стороны входного патрубка, выполнен из геттерного материала.

2.Агрегатпоп. 1, отличаюшийся тем, что в корпусе установлен дополнительный экран, присоединенный с тепловым контактом к охлаждаемым экранам и образующий с ними полость, а источник электронов размещен в последней, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США N 3579998, кл. 62-55.5, опублик, 1971.

ФЫ Р

Составитель Н. Юшин

Редактор В. Пилипенко Техред М.Тенер Корректор М. Демчик

Заказ 7584/8 Тираж 678 Подписное

13НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущскаи наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент,. г. Умйород, ул. Проектная, 4