Способ изготовления микроиндуктивных элементов

Способ изготовления микроиндуктивных элементов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (970496

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01.12.80 (21) 3215442/24-07 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. К, Н 01 F 41II14

Государственный коннтет

СССР (53) УДК 621.315 (088.8) Опубликовано 30.10.82. Бюллетень № 40

Дата опубликования описания 05.11.82 по делан нзобретеннй и открытий (72) Авторы изобретения

А. В. Заборовский и А. М. Иойшер

1 с

Кишиневский научно-исследовательский и )ститут электроприборостроения Научно-производственного, -.: объединения «Микропровод»

И

Г (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОИНДУКТИВНЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к электротехнике, в частности к технологии изготовления микроиндуктивных элементов.

Известен способ изготовления индуктивной катушки путем намотки провода в изоляции и скреплении витков друг с другом (1)

Однако размеры такой катушки относительно велики.

Известен также способ изготовления пленочных индуктивных элементов, включающий нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводниковых пленок на фольгу, с последующим изготовлением фотолитографией плоского спирального токопроводя щего слоя (2) .

Недостатком такого способа является сложность изготовления и невозможностьдальнейшего снижения площади индуктивного элемента, что существенно отражается на габаритах гибридных микросхем с использованием микроиндуктивных элементов.

Цель изобретения — уменьшение габаритов микроиндуктивных элементов.

Указанная цель достигается нанесением на полупроводник или диэлектрик электродов, приложением к ним напряжения, достаточного для пробоя полупроводника или диэлектрика, при одновременном воздействии магнитного поля, вектор напряженности которого направлен под углом к вектору напряженности электрического поля.

На чертеже схематично изображено устройство для реализации предлагаемого способа. Оно содержит полупроводник или диэлектрик 1, электроды 2, спиральный токоio проводящий канал 3.

Изготовление микроиндуктивного элемента осуществляют следующим образом.

На полупроводник или диэлектрик наносят электроды, затем помещают образец в магнитное поле, прикладывают между электродами напряжение, достаточное для пробоя данного материала, а после пробоя напряжение автоматически снижают для формовки образовавшегося в результате пробоя в магнитном поле спирального токопроводящего канала.

При изготовлении микроиндуктивных элементов предлагаемым способом, при сохранении тех же размеров, величина индуктивности в 2 — 3 раза превышает индуктивность

970496

Формула изобретения

Составитель В. Кожуров

Редактор А. Власенко Техред И. Верес Корректор Г. Огар

Заказ 7412 66 Тираж 761 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 элементов, изготовленных по известным споco6aM.

Способ изготовления микроиндуктивных элементов путем формирования спирального токопроводящего слоя связанного с полупроводящей или диэлектрической подложкой; отличающийся тем, что, с целью уменьшения размеров, указаный слой формируют в толще подложки путем нанесения электродов и приложения к ним напряжения, до. статочного для пробоя полупроводника или диэлектрика, при одновременном воздействии магнитного поля, вектор напряженности которого направлен под углом к вектору напряженности электрического поля.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 645215, кл. Н 01 F 41/18, 1978.

1в 2. Авторское свидетельство СССР № 374667, кл. Н 01 F 41/18, 1967.