Щелочной раствор для химического осаждения металлических покрытий на диэлектрики

Щелочной раствор для химического осаждения металлических покрытий на диэлектрики

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

. Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Р М К з с присоединением заявки ¹

С 23 С 3/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (33) УДК 621.793. .3.669.28 (088.8) Опубликовано 1511.82. Бюллетень ¹42

Дата опубликования описаиия1Ы1.82 (72) Автор изобретения В.П. Пильников

1 В

Ф„ т. „ .;.

Mlq ", . ъ..»

Уральский лесотехнический институт им.Ленинского комсомола (71) Заявитель (54) Я ЛОЧНОЙ РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ

МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ДИЭЛЕКТРИКИ

Изобретение относится к нанесеньпо металлических покрытий на диэлект.рики, преимущественно молибденовых, которые могут быть использованы в радиоэлектронной промышленности.

Известен раствор для химического осаждения молибденовых покрытий, со держащий молибденовокислый аммоний, гипофосфит натрия, лимонную и соляную кислоту, сблянокислый гидроксил амик (.1).

Однако этот раствор пригоден только для осаждения, покрытий на металлическую, в частности алюминиевую основу, и не может быть использован для осаждения молибдена на диэлектрические материалы.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является известный щелочной раствор для химического осаждения, например, медных, серебрянных, кобальтовых, палладиевых металлических покрытий на диэлектрики, содержащий соединение осаждаемого металла, двуххлористое олово

s качестве восстановителя и гидроокись натрия (2).

Однако использование известного раствора для осаждения молибденовых покрытий не позволяет вести процесс с достаточно высокой скоростью.

Целью изобретения является повышение скорости осаждения пок1зытий.

Указанная цель достигается тем, что в щелбчном растворе, содержащем молибденовокислый амлоний в качестве соединения осаждаемого металла, двуххлористое олово в качестве восстановителя и гидроокись натрия, раствор дополнительно содержит бензол при следующем соотношении компонентов, г/л:

Аммоний молибденовокислый 20-50

Олово двуххлористое 10-80

Гидроокись натрия 200-400

Бенэол 0,01-0,8

Введение бензола в качестве ускоряющей добавки в раствор позволяет увеличить скорость осаждения покрытий с 0,001 мкм/ч при 98 С до

0,4 мкм/ч при 60оС. Введение бензола в концентрации до 0,01 г/л приводит к незначительному увеличению скорости, не более 0,05 мкм/ч, а при содержании его в растворе

0,01 г/л и выше скорость осаждения покрытий резко возрастает. увеличение концентрации бензола более

973664

0,8 г/л невозможно из-за его плохой растворимости и нецелесообразно, так как не приводит к дальнейшему повышению скорости осаждения покрытий.

B таблице представлен состав раствора и условия осаждения, I

Состав раствора, г/л

Примеры

1 1 t 1 (Условия осаждения

1 2 3 4 5 6 . 7

20 20

80 80

20 20 20 20 20

20 20 . 40 80 80 200 200 200 200 400 400 400

0,8 0,8 0,8 0,8

0,1 0,4

0,01

60 50 40 40 !

0,48 0,53 0,57 0,60

60 60, 60

О, 4

0,42 0,44

Как видно из таблицы, предлагаемый. раствор позволяет получать покрытия со скоростью 0,4-0,6 мкм/ч.

Покрытия представляют собой чистый молибден, светлосерого цвета, хорошо сцеплены с основой и беспористы при толщине более 0,2 мкм, В настоящее время молибденовые покрытия на диэлектрики наносят спо:собом вакуумного напыления, Данное изобретение позволяет упростить технологию получения покрытий из молибдена, исключить дорогостоящую аппаратуру, увеличить производительность труда и уменьшить трудовые затраты.

20-50

10-80

200-400

0,01-0 8

Формула изобретения щелочной раствор для химического осаждения металлических покрытий на диэлектрики, преимущественно молибденовых, содержащий молибденовоСоставитель Е. Кубасова

Редактор И. Митровка ТехредЛ.Пекарь Корректор;М. Шароши.

Заказ 8621/32 Тираж 1053 Подписное

ВНИИПИ ГосударственногО комитета СССР по делам. изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Аммоний молибденовокислый

Олово двуххлористое

Гидроксид натрия

Бенэол

Температура, С

Скорость осаждения,мкм/ч

Во всех примерах образцы из ситалла марки СТ-38 после обезжирнвания, травления, сенсибилизирования и активирования погружают в растворы укаэанного состава и выдерживают в течение часа, после чего определяют скорость осаждения молибдена весовым методом, t кислый аммоний в качестве соединения осаждаемого металла, двуххлористое олово в качестве восстановителя и гидроокись натрия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения скорости осаждения покрытий, он дополнительно содержит бенэол

35 при следующем соотношении компонентов, г/л: . Аммоний молибденовокислый

Олово двуххлористое

4Q Гицроокись натРия

Бензол

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Авторское свидетельство СССР

9 406967, кл, С 23 С 3/02, 1971.

2. Пильников В.П. и др, Термодинамический выбор растворов для химического осаждения металлов. Сб.

Физ.-химия процессов на межфаэных границах, Свердловск, 1976, с. 82-86.