Фотоэлектрический преобразователь перемещений

Фотоэлектрический преобразователь перемещений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву —. (22) Заявлено 15.05. 80 (21) 2925538/25.-28 с присоединением заявки Йо(23) Приоритет—

Опубликовано .231282. Бюллетень йо 47

РЦМ.К .

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

С 01 В 11/00 (53}УДК 531.717.1 (088.8) Дата опубликования описания 23.12.82 (72) Авторы изобретения

И.A. Бружас, И.Ю. Веркялис, Г.P. Картанае н A. -П.A. Мажейкис

Ордена Трудового Красного Знамени институт фйзики. 7 полупроводников AH Литовской CCP (71) Заявитель (54) ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для автоматического измерения перемещения подвижных элементов, например станков.

Известны устройства для измерения величины и направления перемещения объектов, содержащие два сопряженные растра и источник света,расположеннйй 10 с одной стороны растровых сопряжений, а приемник света с другой стороны растрового сопряжения на определенном расстоянии от индикаторного растра(1).

Недостатком данного устройства as-

15 ляются его большие габариты и недостаточная точность измерения переме-. щений.

Наиболее блиэкиМ к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащий соосно установленные осветитель, растровое сопряжение, образован ное измерительным и индикаторным растрами, и фотоприемники, включенные по балансной схеме, на наружной стороне подложки индикаторного растра нанесены группы штриховых делений имеющих сдвиг по фазе íà 7с/2 (2).

Недостатком известного устройства является недостаточная точность измерений, обусловленная тем, что каждый фотоприемник расположен в отдельном корпусе, а также сложностью юстировки и монтажа- устройства, котороь имеет большие габариты.

Цель изобретения - повймение точности измерений.

Эта цель достигается тем, что фотоэлектрический преобразователь .перемещения снабжен закрепленныивт на другой стороне подложки индикаторного растра парами пленочных шин с площадками, расположенньваю за каждой из групп штриховых делений, а кристаллы фотоприемников выпопйены с сопряженными с площадками планарнымн металлизациями, жестко скрепленными с парами пленочных шин соответствен но, базами и коллекторами.

На фиг. 1 изображена схема фотоэлектрического преобразователят на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1„. на фиг. 3 - крепление кристаллов фотоприемника.

Фотоэлектрический преобразователь перемещений содержит соосио установленные осветитель l, измерительный и индикаторный растры 2 и 3, кристал983451 лы .фотоприемников 4, пленочные шины 5, площадки 6 для сопряженного присоединения кристаллов фотоприемников 4, площадки 7 для присоединения выводов фотоприемников 4, герметизирующее покрытие 8 (И вЂ” кремниевая подложка, P — диффузионная база) прич поя 9 (площадки) крепления кристаллов фотоприемников 4 к шинам 5. Индикаторный растр 3 содержит стеклянную подложку, на верхней стороне которой 10 нанесены штрихи.

На другой стороне подложки нанесены пары пленочных шин 5 и площадки 6 для жесткого крепления кристаллов фотоприемников 4. Кристаллы фотопри- (5 емников 4 (фиг. 2) имеют сопряженные с площадками 6 базовые Б и коллекторные К пленочные металлизации. Это позволяет крепить кристаллы фотоприемников 4 припоем 9 непосредственно фоточувствительной поверхностью к стороне подложки индикаторного растра 3 и обеспечить их электрическое соединение попарно встречно, так как они к парным шинам 5 крепятся — один базой и коллектором, а другой — коллектором и базой. На смонтированную таким образом систему кристаллов фотоприемников 4 (бескорпусных кремниевых фотодиодов) на обратной стороне подложки растра наносится герметизирующее покрытие 8, при этом индикаторный растр 3 и кристаллы фотоприемников 4 составляют единую систему.

Устройство работает следующим образом.

Свет от осветителя 1, например светодиодов, направляется на измерительный растр 2, проходит индикаторный растр 3, проходит через прозрачную подложку и падает на светочувст- 40 вительные площадки кристаллов фотоприемников 4, расположенных под 0Тдельными участками штриховых делений индикаторного растра 3, имеющих сдвиг штрихов по фазе Ж/2. При движении индикаторного растра 3 фотоприемники 4 вырабатывают электрические сигналы, пропорциональные величине перемещения индикаторного растра 3.

Предложенное выполнение крепления кристаллов фотоприемников в преобразователях для автоматического измерения перемещений дает наряду с повышением точности измерений упроще-. ние конструкции, уменьшение габаритов, повышение технологичности изготовления и упрощение.экслуатационного обслуживания.

Формула изобретения

Фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащий соосно установленные осветитель, растровое сопряжение, образованное измерительным и индикаторным растрами, и фотоприемники, включенные по балансной схеме, на наружной стороне подложки индикаторного растра нанесены группы штриховых делений, имеющих сдвиг по фазе Й/2, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен закрепленными на другой стороне подложки индикаторного растра парами пленочных шин с площадками, расположенными за каж(дой из групп штриховых делений, а кристаллы фотоприемников выполнены с сопряженными с площадками планарными металлизациями, жестко скрепленными с парами пленочных шин .соответственно, базами и коллекторами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 446381, кл. G 01 В 29/00, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР

В 608672 кл, G 01 В 21/00, 1976 (прототип).

983451

Составитель С. Грачев

Редактор П. Коссей Техред М.Тепер Корректор А, Гриценко

Заказ 9890/46 Тираж 614 Подписное .ВНИИПИ ГосУдарственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раужская наб,, д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4