Полупроводниковый датчик давления

Полупроводниковый датчик давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

-- .

Г. Г. Абашев, В. И. Лунегов, В. С. Павлов, В., С. РуСских и М. А. Марценюк

l (72) Авторы изобретения

Пермский ордена Трудового Красного Знамени государственный / университет им. А. M. Горького (7l) Заявитель (54) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

1S

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давлений, усилий и т.д.

Известны полупроводниковые датчики, содержащие чувствительный элемент из кремния (1) .

Недостатком данных датчиков является высокая их термочувствительность, что снижает точность измерений.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является датчик давления, содержащий чувствительный элемент на основе чистых органических полупроводников: простая ион-радикальная соль 7, 7, 8, 8 -тетрацианохинодиметанида с 1,1-диэтил-6,6-дихинолинием; комплексная соль 1,1-диэтилфенатролиния и 7, 7,8,8 - тетрацианохинодиметанида; комплексная соль на основе 1,1 äèэтил-6-6 -дихинолиния и 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметанида (2) .

Недостатком известного датчика является низкое электрическое сопротивление за счет того, что материал чувствительного элемента нри низком температурном коэффициенте сопротивления имеет низкое удельное сопротивление и, вследствии этого, возникают трудности сопряжения датчиков со стандартной тензоаппаратурой.

Цель изобретения — повышение чувствительности эа счет увеличения удельного сопротивления.

Указанная цель достигается тем, что в полупроводниковый датчик, содержащий чувствительный элемент на основе органического полупроводника N,N -диметил-4,4 -дипиридилий 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметанида, в материал чувствительного элемента введена

$-метилтиурониевая соль 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметана при следующем соотношении компонентов, вес.%: N,N -диметил-4,4 -дипиридилий 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметанид

60 — 70, $-метилтиуроний 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметатцщ 30-40.

Чувствительный элемент цолупроводникового датчика может быль вьпвэлнен, например, в виде спрессованной таблетки из укаэанной смеси. Электрические контакты могут быль впрессованны в тензочувствительный элемент

Составитель В. Казаков

Техред К.Мыцьо Корректор А. Гриценко

Редактор В. Пилипенко

Заказ 10160/66 Тираж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 985719 4 или осуществлены путем напыления металла танида,отличающийся тем, на поверхносп. что, с целью повышения чувствительности за

Таким образом, применение предлагаемого счет увеличения удельного сопротивления, в

; полупроводникового датчика позволяет повы- материал чувствительного элемента введена сить электрическое сопротивление н уровень ч S-метилтиурониевая соль 7,7,8,8 -тетрациановыходного сигнала за счет повышения удель- хинодиметанида при следующем соотношении ного электрического сопротивления, сохра- компонентов, вес.%: й, N -диметил-4,4 -дипиняя низким значение температурного коэффи- . ридилий 7,7,8,8 -тетрацианохинодиметанид циента сопротивления. 60 — 70; $-метилтиуроний 7,7,8,8 -тетрацианохи10 нодиметанид 30 — 40, Формула изобретения Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Полупроводниковый датчик давления, содер- 1. Авторское свидетельство СССР N 297874, жащнй чувствительный элемент на основе кл. 6 01 К 7/16, 1963. органического полупроводника И, и "диметил- 1> 2. Авторское свидетельство СССР N 301583, -4,4 -дипирнцилий 7,7,8,8 -тетрацианохиноФчме — кл. 6 01 1. 9/12, 1969 (прототип).