Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин

Патент 988533

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сееетсиик

Социалистичесиик

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву 9 768616 (22) Заявлено 300681 (21) 3308560/25 08 ($$) М. Кп з с присоединением заявки HPвЂ” (23) ПриоритетвЂ”

В 24 В 41/00

//В 24 В 37/04

Государственный «оиитет

СССР по деяаи изобретений и открытий

Опубликовамо1%01.83. Бюллетень HP 2 (53) УЯК 621. 923 ° . 5 (088 ° 8) Дата опубликования описания 1501.83 (72) Авторы изобретения нова

Ю. В. Пантелюшкин, А. В. Шурыгин

)

Л 4- I,X = °" (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПРАВЛЕНИЯ УГЛА СРЕЗА

КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ

ПЛАСТИН

Изобретение относится к радиоэлектронике, промышленности средств связи, радиопромышленности и может быть использовано при изготовлении подложек микросхем на кристаллах,; в том числе из пьезокварца.

По основному авт.св. В 768616 известно устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных подложек, выполненное в виде. корпуса и рабочих секций, каждая из которых состоит из одной неподвижной и одной подвижной втулок, установленных на общем валу, имеющих по одному перпендикулярному к och и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующих друг с другом по перпендикулярным торцам, причем на скошенном торце .подвижной втулки, снабженной фикса- тором, укреплена поворотная кассета, имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой под,ложки $ 1 J °

Недостатком известного устройства является невозможность исправления углов среза подложек различной толщины. Известное устройство применимо только для подложек одной какойлибо конкретной толщины, при которой центр подложки лежит на оси враще ния (оси подвижной втулки), вокруг которой осуществляется разворот подложки (здесь и в дальнейшем под центром подложки подразумевается центральная точка на поверхности подложки после снятия припуска на обработку). При изменении толщины

10 подложки центр ее будет смещен относительно оси вращения,-и при обработке будет наблюдаться разворот подложки вокруг дополнительной неконтролируемой оси.

Целью изобретения является расширение технологических воэможностей устройства за счет обработки подло, жек различной толщины.

Цель достигается тем, что в устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин дополнительно введен стол, установленный с воэможностью перемещения s направляющей, выполненной на скошенном торце подвижной втулки, снабженной тарировочной шкалой, а поворотная кассета установлена на столе.

На фиг.1 изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг,2 - сеЗО чение A-A иа фиг. I; на фиг.3 - схе988533 ма, поясняющая совмещение центра подложки с осью вращения подвижной втулкиу на фиг.4 вЂ” положение подлож" ки после настройки на определенный угол среза; на фиг.5 вЂ” предлагаемое устройство, вид сверху. 5

Устройство состоит из двух втулок, подвижной 1 и неподвижной 2, общего пустотелого вала 3, с помощью которого втулки крепятся к корпусу

4 и в полости которого создается вакуум, фиксирующей гайки 5, кассеты

6, стола 7, стойки 8, тарированной головки 9 и микровинта 10. Каждая из втулок имеет соответственно перпендикулярные и скошенные под одина- 15 ковыми углами торца. Постоянный контакт втулок при взаимном вращении осуществляется по перпендикулярным торцам, при этом один из скошенных торцов постоянно служит основанием, 2() а на торце второго по направляющим базируется стол 7. Гайка 5 служит для фиксирования относительного углового положения втулок 1 и 2. В сквозное отверстие кассеты 6 устанавливается обрабатываемая подложка 11. К подвижной втулке 1 крепится стойка 8.

Работа и настройка устройства происходит следующим образом.

На базовую плоскость стола 7 устанавливается обрабатываемая подложка 11. После этого создается разре жение в полости устройства и подложка фиксируется на поверхности стола7. Затем при заданной теоретической толщине и (получаемой после снятия припуска) при помощи микровинта 10 и головки 9, оттарированной в зависимости от теоретической толщины подложки, перемещают в горизонтальной 40 плоскости, стол вместе с подложкой так, чтобы ось подложки 1-1 и ось подвижной втулки 11-11 пересекались в точке 0, определяющей заданную .толщину подложки h< (фиг.3) . При 45 изменении толщины йодложки íà h происходит рассогласование центра пересечения осей на расстояние О Б, равное Ь, в связи с чем при поворОте пОДВижнОЙ Втулки 1 пОДлОжка 5() поворачивается как по оси Х (на заданный угол), так и по оси У (на побоЧный угол, вносящий погрешность).

Для исключения этого необходимо с помощью микровинта 10 и головки 9 стол с подложкой сместить на величину Ь и совместить точку Б, расположенную на оси 11-11, т.е. оси Х, с вертикальной осью подложки 1-1. Затем базовая плоскость стола, ориен-. тируется на требуемый угол ОС, равный поправке угла плоскости среза подложки, путем вращения втулки 1 относительно неподвижной втулки по лимбу (фиг.4) . Требуемый угол и . фиксируется гайкой 5.

Далее должно быть откорректировано направление наклона плоскости среза относительно шлифовального круга 12. Корректировка производится за счет поворота кассеты 6 по лимбу на требуемый угол fb (фиг.5) .

Конструкция предлагаемого устройства имеет широкие технологические возможности вЂ” позволяет устранить такое отрицательное явление, как одновременный разворот подложки по двум осям, возникающий при несовмещении центра подложки с осью вращения подвижной втулки, что имеет место в известном устройстве при пе: реходе на обработку подложек другой толщины

По сравнению с известным предлагаемое устройство дает возможность снизить трудоемкость на 20-40% и

i повысить производительность за счет возможности обработки подложек различной толщины.

Формула изобретения

Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин по авт.св.Р 768616, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей устройства, оно снабжено столом, установленньм с возможностью перемещения в выполненной на скошенном торце подвижной втулки направляющей и несущим поворотную кассету.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 768616, кл. В 24 В 41/00, 1978.

988533 иг.1

Составитель A. Козлова

Редактор О. Персиянцева Техред A. Ач Корректор О. Билак .Заказ 10963/17 Тираж 792 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4