Способ изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов

Способ изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНЫ

И ЗОВРИТЕ Н И

К АВТОРСЯОЖУ СВИДИТИЛЬСТВ

Cases Советских

Cogssasssserweecssx

Рвсттублнтт (61) Дояолиительйое к авт. саид-ву (22) ЗаЯвлено 19.0g 81 {21) У 1УУ1д

t с ярисоедивеввем заттвки М(23)Приоритет— (2яуттлиховвио 1 .01. 83. Бтоллетеиь

Дата овублттковаиня овисаиия15 .03

В 5/66

Г46 дэдсткквкьй sslNNTOT ссе

N делам язебретеинй и открытий

Зтт. 85

088.8}

c

И.Н.Кондратьев, Г.Н. Селин и Е.А. Гррохов .- :;:... (72) Авторы изобретения

Иркутский государственный педагогический институт (71) Заявитель (54 }СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕРЕСТРАИВАЕИОГО

НОСИТЕЛЯ НИЗКОКОЭРЦИТИВНЫХ КАНАЛОВ

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении носителя низкокоэрцитивных каналов.

Известен способ получения носителя низкокоэрцитивных каналов, в котором имеется возможность многократного варьирования .конфигурацией низкокоэрцитивных каналов на одном носителе.

Согласно этому способу на много-. кристаллическую подложку методом химического транспорта осаждают плен. ки кобальтового или марганцевого ферритов с перпендикулярной анизотропией, затем, методом напыления в вакууме на полученный слой наносят диэлектрическую прослойку LiF, а затем металлический слой с плоскостной анизотропией Fe-Ni. Для получения низкокоэрцитивных каналов на таком носителе размагничивают слой с перпендикулярной анизотропией в переменном магнитном поле, перпендикулярном поверхности носителя, а затем заостренным концом постоянного магнита проводят над тем местом, 5 где должен быть низкокоэрцитивный канал. В такой системе имеется возможность создавать, стирать и вновь записывать низкокоэрцитивные каналы 1.1).

Недостатком этого носителя является то, что осаждение методом химического транспорта предполагает наличие специальной сложной в техническом исполнении установки, в которой не" обходимо контролировать и поддерживать в течение длительного времени многие параметры (,состав газоносителя, его скорость, температуру и т.д.), zo

Выход годных изделий при газотранспортной реакции из-за ее нестабильности меньше, чем при вакуумном напылении. Кроме того, после получения слоя кобальтового феррита на газо9о9582

ВНИИПИ Заказ 11136/70 ТиРаж 592 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 транспортной установке необходимо переносить образцы на установку вакуумного напыления для нанесения слоев диэлектрика и магнитного слоя с плоскостной анизотропией. Перенос образцов с установки на установку неизбежно сопровождается их дополнительным загрязнением, что также сказывается на дальнейшем выходе годных изделий.

Цель .изобретения - упрощение изготовления.

Цель достигается тем, что согласМо способу изготовления перестраива- емого носителя низкокоэрцитивных каналов, включающему нанесение двух металлических магнитных слоев с перпендикулярной и плоскостной анизотропией и диэлектрической прослойки на подложку, все слои наносятся вакуумным напылением и первым напыляют слой с плоскостной анизотропией.

Кроме того, слой с перпендикулярной анизотропией напыляют под углом 50-70 к подложке, а плоскость падения лучка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя.

Кроме того, напыление слоев проводят при 200-300 С.

Способ осуществляют следующим образом.

Первым производят напыление металлического слоя из сплава Ni 803 и Ге 203 при 250 С на подложку из а стекла. Толщина магнитного слоя 800 А и ось легкого намагничивания параллельна плоскости подложки. Затеи производят напыление. диэлектоического слоя SiO толщиной 250 А. при той же температуре. Затем производят напыление металлического магнитного слоя Fe-Ni того же состава с перпендикулярной анизотропией под углом

50 к плоской основе, толщиной 0,5 микрон при той же температуре, причем плоскость падения пучка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя

Низкокоэрцитивные каналы формируют следующим образом. Насыщающее магнитное поле прикладывают так, чтоб его направление совпадало с осью анизотропии верхнего слоя, магнитное поле поворачивают на 90 относительно начального направления вдоль оси анизотропии первого слоя.

Данный способ позволяет понизить ,отношение коэрцитивной силы низко . коэрцитивного канала к коэрцитивной силе остальной части носителя в 3 раза по сравнению с прототипом,что расширяет рабочий диапазон носителя и увеличивает его помехоустой1в чивость. Изготовление носителя производят на одной и той we установке вакуумного напыления материала за один технологический цикл,. включающий в себя: напыление магнит15 ного слоя с плоскостной анизотропией при определенной температуре, слоя диэлектрика при той же температуреи слоя с перпендикулярной анизотропией и полосовой доменной структурой щв при той же температуре под углом к подложке. Таким образом, отпадает необходимость в установке газотранспорта,что позволяет упростить технологию изготовления носителя, увеличить

25 производительность путем уменьшения времени на технологический цикл и снизить себестоимость носителя за счет более простой технологии.

Формула изобретения зв 1. Способ изготовления перестраиваемого носителя низкокоэрцитивных каналов, включающий нанесение двух металлических магнитных слоев с перпендикулярной и плоскостной анизотропией и диэлектрической прослойки на подложку, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения изготовления, все слои наносятся вакуумным напылением и первым

4О напыляют слой с плоскостной анизотропией.

2. Способ по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что слой с перпендикулярной анизотропией напыляют под д углом 50-70 к подложке, а плоскость падения пучка напыляемого материала совпадает с осью плоскостной анизотропии первого слоя.

3. Способ по пп.1 и 2, о т л ич а ю шийся тем, что напыление слоев проводят при 2О0-300 С.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 603094, кл. 6 11 С 11/14, 1974.