Способ изготовления многослойных p-n структур соединений типа aiiibv
Патент 990016
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления многослойных p-n структур соединений типа aiiibv
Реферат
Способ изготовления многослойных p-n-структур соединений типа AIIIBV, включающий соединение пакета эпитаксиальных структур в монолитный блок при нагревании, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур и упрощения технологии их получения, пакет эпитаксиальных структур сжимают давлением 10-20 кг/см2 и перемещают в градиенте температур вдоль оси пакета 300-600 град/см в направлении уменьшения температуры со скоростью 510-4-10-3 см/с, причем температура составляет 850-1000 К.