Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советски к

Социапистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б! ) Дополнительное к авт. саид-ву

{22) 3 »«î 23. 05. 77 (21) 2489492/25-06 (51)M. Кл. с присоедииением заявки,%

Р 04 0 19/04

Геаудлрстваккый кюмктет (23) Приоритет

СССР

Опубликовано 30.01.83. Бюллетень № 4

N делам кзабретеиий и етарытий (53) УДК621.527. .В(088.8) Дата опубликования описания30.0 1.83 с

/ ;:..

В. Н. Кеменов и Л. Б. Леонов

/ (72) Авторы изобретения

{7l ) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕ CYllRPHblA ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству Ъ турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с установленными на его внутренней поверхности статорными дисками, расположенный по оси корпуса ротор, выполненный в виде барабана с дисками, и электродвигатель $ 1).

Недостатком известного насоса является низкая надежность вследствие возможного выхода из строя электродвигателя при прорыве атмосферы в корпус работающего насоса.

Цель изобретения - повышение надежности и обеспечение длительной работы электродвигателя при атмосфер-2о ном давлении.

Указанная цель достигается тем, что насос снабжен приводным валом, связанным с,электродвигателем, и.2 барабан посредством подшипников установлен на валу.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с установленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2, расположенный по оси корпуса 1 ротор, выполненный в виде барабана 3 с дисками .4, и электродвигатель 5. Насос снабжен приводным валом 6, связанным с электродвигателем 5, и барабан 3 посредством родшипников 7 и 8 установлен на валу 6.

Насос работает следующим образом.

При включении электродвигателя 5 вследствие трения в подшипниках 7 и

8 барабан 3 приводится во вращение.

Чем ниже давление в обьеме корпуса

1 насоса, тем меньше сопротивление вращению барабана 3 и, следовательно, выше скорость вращения, прибли992837

3 жающаяся к номинальным оборотам электродвигателя g.

При повышении давления в полости корпуса насоса, например при прорыве атмосферы, возрастает нагрузка на барабан 3, который замедляется, однако нагрузка на электродвигатель не возрастает, он продолжает вращаться с прежней скоростью. Зто приводит к возможности длительной эксплуатации электродвигателя при атмосферном давлении в насосе. Кроме того, свободное торможение барабана при возрастании сил сопротивления вращению повышает надежность и долговечность конструкции, так как при попадании в насос инородных тел не происходит разрушения и повреждения дисков, 4 формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с установленными на его внутренней поверхности статорными дисками, расположенный, по оси корпуса ротор, выполненный в виде барабана с дисками, и электродвигатель, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности насоса и обеспечения длительной работы электродвигателя при атмосферном давлении, он снабжен приводным валом, связанным с электродвигателем, и барабан посредством подшипников установлен на .валу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

O 688708, кл. F 04 0 19/04, 1977.

ВНИИПИ Заказ 408/44

Тираж 663 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,