БЕЗДЕЛКИН ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ

  О П И С А Н И Е 00 5542I3 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Goes Советских п.,иалистнческих Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.01.74 (21) 1987061/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.04.77. Бюллетень № 14 Дата опубликования описания 03.05.77 (51) М. Кл. С 04В 21/00 С 04В 35/64 Государственный комитет Совета Министров...

  Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик пьезоэлемента при измерении толщины тонких пленок за счет уменьшения температурной нестабильности . Изготавливают кристаллический элемент с кристаллографической ориентацией , обеспечивающей минимальную температурную нестабильность резонансной частоты пьезоэлемента, н...