КОШЕЛЕВ ИГОРЬ ИВАНОВИЧ

  9ффсоюэиввв ымв т иО- т юх т и ч зсхатФ т М,1ц 5706 Союз Советских Социалистических Респубпик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31,03.75 (21) 2120610/21 (51) М. Кл. С 25D 1/12 с присоединением заявки ¹ Совета Министров СССР по дедам изобретений и открытий (53) УДК 621.3.049.75 (088.8) Опубликовано 30.08,77. Бюллетень № 32 Дата опублик...

  о и и с л й- и"-й ИЗОБРЕТЕН Сеюэ Советскнк Сецнаанстнчесиик Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС (6!) йонолннтельное к авт. свид-в (22) ЗаЯвлено 100277 (И) 2451875/ с присоединением заявки ЭЙ Государстаеииый комитет Совета Министров СССР по делам изооретеииЯ и открытиЯ {23) Приоритет (43) Опубликовано 150щ785юалете (45) Дата опубликования онисання (72) Авторы изобретения A.Â.Ñ...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, содержащее гибкий фотошаблон, источник актиничного излучения , механизм совмещения фотошаблона и подложки в виде вакуумной камеры с. держателем фотошаблона и держателем подложки, о т л и ч а .tout е е с я тем, что/ с целью пов зИ1зения качества и зделия,- держатель фотошаблона снабжен камерой избыточ:ного давления. (Л „.Я0„„14 А СОЮЗ...