Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов

Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

9ффсоюэиввв ымв т иО- т юх т и ч зсхатФ т М,1ц 5706

Союз Советских

Социалистических

Респубпик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31,03.75 (21) 2120610/21 (51) М. Кл. С 25D 1/12 с присоединением заявки ¹

Совета Министров СССР по дедам изобретений и открытий (53) УДК 621.3.049.75 (088.8) Опубликовано 30.08,77. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 08.09.77 (72) Авторы изобретения

А. В. Самохин, И. И. Кошелев, В. И. Ошарин, В. И. Елисеева, А. В. Зуйков и А. П. Мороз (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕТЧАТЫХ

МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТРАФАРЕТОВ

ГосУдаРственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к технологии изготовления печатных форм для трафаретной печати (трафаретов), применяемых в микроэлектронике, радиотехнике, полиграфии и других областях техники.

Известен способ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, нерастворимого при электрофорезе, например электролитического никеля, с отверстиями по заданному рисунку, соединение металлической основы с металлической сеткой и удаление временной подложки (1), Цель изобретения — повышение тиражестойкости и разрешающей способности.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу изготовления сетчатых металлических трафаретов перед соединением металлической сетки с металлической основой на нее наносят подслой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его no боковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сетки с металлической основой производят латексом, который оса кдают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остатка 5 — 20 вес. % при постоянном напряжении 100 — 200 В в течение 1 — 5 сек.

Пример. На титановую подложку толщиной 0,4 мм гальваническим путем осаждают никель из электролита состава, г/л:

Сернокислый натрий б0

Сернокислый никель 200

Сернокислый магний 45

Борная кислота 25

Хлористый натрий 7 при 20 — 25 С и катодной плотности тока

1 а/дм, толщиной 8 мкм. На слой никеля гальваническим путем наносят подслой меди толщиной 4 мкм из раствора состава, г/л:

15 Борфтористоводородная медь 240

Борная свободная кислота 1б

Борфтористоводородная свободная кислота 10 при 20 — 25 С и катодной плотности тока

2,5 а/дм . После этого на медной поверхности заготовки методом фотолитографии получают защитный рисунок нужной топологии из фоторезиста марки ФП-383 и по нему в растворе хлорного железа плотностью 1,34 г/л при

25 50 С химически травят слои меди и никеля до обнажения поверхности титана. Затем электрохимически в растворе хромового ангидрида концентрации 300 г/л при 20 — 25 С и анодной плотности тока 1 а/дм н течение

5706;) 9

Составитель О. Богомолов

Техред Л. Гладкова

Корректор Л. Брахнина

Редактор Е. Караулова

Заказ 1977/17 Изд. _#_o 720 Тираж 671

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раугнская наб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

1 мпн подтравливают подслой меди. Фоторезист удаляют при помощи ацетона.

Заготовку плотно прижимают к натянутой на рамку сетке стороной с медным подслоем и погружают в карбоксилсодержащий акриловый латекс с глицидильными функциональными группами с содержанием сухого остатка

10 вес. %.

В качестве катода применяют пластину из нержавеющей стали несколько большего, чем титановая подложка, размера. Процесс электрофореза ведут при постоянном напряжении

160 В в течение 3 сек без перемешивания.

После этого трафарет подсушивают в инфракрасном свете прп 120 С в течение 5 мин. Затем осторохкно отделяют титановую подложку от трафаретобразующего слоя и проводят окончательную сушку в термошкафу при 120 С в течение 40 мин.

Формула изобретения

Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, нерастворимого при электрофорезе, например электролитического никеля, с отверстиями по заданному рисунку, соединение металлической основы с металлической сеткой и удаление временной подложки, отл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения тпражестойкости и разрешающей способности, перед соединением металлической сетки с металлической основной на нее наносят под10 слой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его по боковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сетки с

Гб металлической основной производят латексом, который осаждают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остатка 5 — 20 вес. % при постоянном напряжении 100 — 200 В в те20 чение 1 — 5 сек.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Мв 3772160, кл. 204 — 11, 1973.