ГРИЦЕНКО АНАТОЛИЙ ЛУКЬЯНОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 290376 (21) 2339801/25-27 Союз Советских Социалистических Республик (11) 575191 2 (51) М. Кл, В 23 K 31/02 В 23 К 19/00 !! 01 1, 21/00 с присоединением заявки № (23) Приоритет Гасрннрстввнный ио!вита! Саввта Министров СССР но нонны ивайрвтвний и атирытий (43) Опубликовано 05107...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сее3 Советских Соцналистинеских Реслублик

  Союз Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Ия К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Гааудерстееххый кемитет СССР па делан изобретений н открытий (23) Приоритет Опубликовано 07.02.81. Бюллетень ¹ 5 Дата опубликования описаиия09.02.81 (53) УДК621.315. .592(088.8) ! f (72) Автор изобретения A. Л. Гриценко (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ФОТОА...

  1. Реперный знак, содержащий выполненные на маске и подложке дифракционные решетки, о т л и гч а.ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности и производительности процесса совмещения, дифракционные решетки размещены в виде квадрата на подложке и квадрата меньшего размера на маске, разделенных диагоналями на секторы, каждалй из которые содержит центральный и периферийный участ...