МАЛАХОВ Б.А.

  Союз Советскик Социалистическик Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 575976 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (5l )М. Кл. ф Н 01 (. 29/76 (22) Заявлено 26.02.76 (21) 2325733/25 с присоединением заявки .%— Государственный комитет (23) Приоритет ло делам изобретений н открытнй Опубликовано 07.10.80 Бюллетень ¹ 37 Дата опубликования описания 17. 10.80...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респуб пик (61) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 180978 (21) 2664916/18-25 (51)М. Кп. с присоединением заявки № (23) Приоритет Н 01 1 29/84 Н 01 Ь. 29/48 Государствеииый комитет СССР оо делам изобретеиий и открыти Й (публикорано 07.1080, Бюллетень ¹ 37 Дата опубликовамия описания 07....

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК 3(я) Н 01 Ь 29 14 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2848351/18-25 (22) 14.12.79 (23) 30.11.79 ,(46) 15.06.84. Вюл. М 22 (72) М.И.Елинсон, М.Р.Мадьяров, В.И.Покалякин, Б.A.Ìàëàõîâ, Г.В.Степанов, С.A.Òåðåøèí и В.Г.Тестов (71) Ордена Трудового Красного Зна...

  Изобретение относится к микроэлектронике . Цель изобретения - повышение разрешающей способности фотошаблона. Фотошаблон содержит рельефную подложку , прозрачную для актиничного излучения . На выступах рельефа расположен маскирующий слой. Во впадинах рельефа, основания которых выполнены вогнутыми, размещен прозрачный материал с коэффициентом преломления большим, чем коэффициент пр...