ШТРАУСЕ ЛИЛИЯ СЕМЕНОВНА
Изобретатель ШТРАУСЕ ЛИЛИЯ СЕМЕНОВНА является автором следующих патентов:
Устройство для дозировки и выдачи фоторезиста
627331 Изобретение показано на чертеже. На фиг. 1 — схема устройства н режиме циркуляции фотореэиста; на фиг. 2устройство в момент выдачи дозы фоторезиста. Ус тройс тв о содержит . корпус 1, к dторий разделен на дне полости: расходную 2 и дозирующую 3 при помощи первого тарельчатого клапана 4, закрывающегося под дейстнием пружины 5. Доэирующая полость 3 имеет боковое слив...
627331