Устройство для дозировки и выдачи фоторезиста

Устройство для дозировки и выдачи фоторезиста

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

627331

Изобретение показано на чертеже.

На фиг. 1 — схема устройства н режиме циркуляции фотореэиста; на фиг. 2устройство в момент выдачи дозы фоторезиста.

Ус тройс тв о содержит . корпус 1, к dторий разделен на дне полости: расходную 2 и дозирующую 3 при помощи первого тарельчатого клапана 4, закрывающегося под дейстнием пружины

5. Доэирующая полость 3 имеет боковое сливное отверстие 6. Второй тарель- 10 чатый клапан образован нижней частью кОРпуса 1 и торцовой частью цилиндрического стакана 7, установленного аксиально корпусу 1 и снабженного каналом 8 в боковой стенке. Во внут- f5 ренней полости стакана 7 установлена втулка 9. Шток, связывающий дна клапана, состоит из двух разъемных частей: верхняя часть 10 выполнена. заодно с тарелкой первого клапана 4 90 и имеет канал 11, а нижняя часть 12 установлена Во втулке 9 и TIpH помощи пружины 13 связана со стаканом 7. Перемещение цилиндрического стакана Осущестнляется при помощи пневмоцилиндра 14.

Устройство также включает в себя расходный резервуар 15, нагнетатель

16, фильтр 17 и трубопроводы .8, 19, 20, 31 . Вс я конструкция предлагае30 мого устройства закреплена. н уста Онке нанесения фоторезиста с центрифугой 22.

Устройстно работает следукщим Об-разом.

Л6

Б исхо,,ном сс1- ТОН нии ) т . е . B проме жутке между выдачей. доэ фотореэиста, устройство p= áoòàåò в режиме циркуляции фотореэиста. При Этом поршень пневмоцилиндра 14 находится в крайнем верхнем положении — второй -. àрельчатый клапан герметично закрыт. Нижняя часть штока 12, сжав пружину 13, упирается в плоскость А втулки 9. Берхняя часть штока 10 упирается н нижнюю часть 12, а тарелка первого клапана 4,45 сжимая пружину 5, находится в верхнем положении. При таком положении указанных деталей расходная полость 2 сообщается с доэирующей полостью 3 и далее — через сливное отверстие 6, 60 полость стакана 7, канал 8 в стенке стакана 7, трубопровод 18 — с расходным резервуаром 15. Таким образом, в исходном состоянии фоторезист постоянно поступает при помощи нагнета- 55 теля 16 через фильтр 17 в расходную полость 2 и возвращается н расходный резервуар 15, при этом происходит непрерывная промывка доэирующей полости 3 и сливного отверстия 6„ т.е. фоторезисту придается дополнительная функция промывочной жидкости.

Непосредственно перед выдачей дозы фоторезиста выключается нагнетатель 16. Поршень пневмоциЛИНдра 14 перемещается в нижнее положение. Ста" кан 7 днижется вниз, а первый клапан 4 закрывается под действием пружины 5. Во время движения стакана 7 нижняя часть 12 штока под действием пружины 13 упирается н верхнюю часть

10 штока, что задерживает сообщение с атмосферой дозирующей полости 3 через канал 11. Фоторезист удерживается в дозирующей полости 3 силой атмосферного давления до отхода стакана 7 в крайнее нижнее положение.

При приближении стакана 7 к крайнему нижнему положению нижняя часть 12 штока упирается в плоскость Б втулки 9, отходит от верхней части 10 штока, канал 11 сообщается с атмосферой, и фотореэист под дейстнием силы тяжести выливается на пластину.

После выдачи дозы фоторезиста стакан. 7 возвращается в крайнее верхнее положение, и нключается нагнетатель 16.

Использование предлагаемого устройства позволяет снизить плотность проколов н пленке фотореэиста с 15 до 9>-/см, Формула иэОбретения

Устройство для дозировки и выдачи фоторезиста, содержащее корпус, разделенный при помощи первого тарельчатого подпружиненного клапана на две полости — Расходную и дозирующу.о, и второй тарельчатый клапан, соединенный с первым при помощи штока„ О т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества фоторезистивного покрытия путем самоочищения устройства от сгустков фон торезиста, второй тарельчатый клапан

Образован нижней частью корпуса и торцовой частью цилиндрического стакана со сквозным каналом в боковой стенке, установленного с воэможностью перемещения аксиально корпусу, во внутренней полости стакана устанонлена втулка, а шток выполнен из двух разъемных частей, одна из кото" рых установлена во втулке и подпружинена, а но второй выполнен канал, сообщающий дозирующую полость с атмосферой, а между расходной полостью и скноэным каналом стакана включен нагнетатель.

Источники информации, принятые но внимание при экспертизе:

1. Патент США 93213215 кл, 200-32, 1965. .2. Патент США 93171570, кл. 222-23, 1965, 3. Патент Англии Р 1270261, кл. В 8 И, 1972, 4. Авторское свидетельство СССР

Р 328339, кл. Q 01 Y 11/00, 1972.

5. Патент США Р 3658216, кл. 222-453, 1972.

627331

Фиг.2

Составитель Н. Ермолаева

Техред З.Фанта Корректор Л. Небола

Редактор С. Головенко

Эакаа„ 5604/39 ЦНИИПИ

Тираж 872 Подписное

Государственного комитета Совета министров СССР о делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская .наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул ° Проектная, 4