БУРАВЦЕВ АНАТОЛИЙ ТИХОНОВИЧ

  О П И С Л НИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6!) Зависимое от авт. свидетсльс-,ва— (22) Заявлено 05.10.72 (21) 1833561/26-21 (51) Ч. Кл. Н 051< 3/06 С 23g 3/00 Н Olrl 7 68 с присоединением заявки— (32) Приоритет— Опубликовано 25.06.75. Бюллетень ¹ 23 Дата опубликования описания 12.01.7б Государственный комитет Совет...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ л11 g)934/ Сева Советских Саллллиотических Ресиублик (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 27.12.73 (21) 1980571/24-6 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.04.76. Бюллетень ¹ 16 Дата опубликования описания 04.06.76 (51) М, Кл. - Е 26В 3 30 В 05D 3/02 F 26В 15/04 Государственный комитет Совета...

  k ! Союз Советсиих Соцмвлмстимеских Республин ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН И 1 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 601502 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено12.07.76 (21) 2386970/25-08 с присоединением заявки № (51) М. Кл. F 16 К 1/02 Гасударственнн|й каинтвт Самта Инннстрав СССР по долам изобретений н ITKpblTNN (23) Приоритет (43) Опублнковано05.04.78 Бюллетень ¹ 1 Я (53)...

  627331 Изобретение показано на чертеже. На фиг. 1 — схема устройства н режиме циркуляции фотореэиста; на фиг. 2устройство в момент выдачи дозы фоторезиста. Ус тройс тв о содержит . корпус 1, к dторий разделен на дне полости: расходную 2 и дозирующую 3 при помощи первого тарельчатого клапана 4, закрывающегося под дейстнием пружины 5. Доэирующая полость 3 имеет боковое слив...

  (61) Дополиительиое к авт. евид-ву (22) Заявлеио 15.07.77 (21) 2509233/25 — 08 е присоединением заявки ¹ Гащдервтввнай емпвт СССР в явим «зебрами и аткритяй ОпУблиповаио 25,05,79. Бязллетеиь 34 1 (72) Авторы изобретения {71) Заявитель (54) ВЕК 1 ИЛЬ Изобретение относится к венпшям расхода газовых сред и может найти широкое применеwe в областях техники, где требуется плавная...

  яз.Tr.м.; . ; .. . - . сиi.ä б. д ио1в . а М Е> 4. вентиля и повышения его эксплуатационных каа инертная жидкость в полости 1 выгибает честв, компенсационная мембрана выполнена наружу компенсационную мембрану 3, что обес- за одно целое с герметизирующей, между мемпечивает постоянный объем полости. Пружина 7 бр!!нами и крышкой образована полость, заполпо-прежнему остается разг...

  А (11,769163 ОПИС НИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 22.01.79 (21) 2714934(25-08 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (45) Дата опубликования описания 07.10.80 (51) М. Кл. F 16К 7(16 F 16К 39(00 Государственный комитет (53) УДК 62...

  ОГ1 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сокзэ Советских Социалистических Реслублик (ii)86764> (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25.01.80 (21) 2887158/25-08 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл. В 25 J 15/04 Гвеудвротвениык комитет Опубликовано 30.09.81. Бюллетень № 36 Дата опубликования описания 30.09.81 (53) УДК 621.229.....

  Союз Соеетсиик Социаинстичесиик Респ ОЛMC;> ;ßÈЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 898244 К йВТОРСНОМУ СВИДЕ1ЕЛЬСТВУ (61 ) Допол н и тел ьное к а вт. с вид-ву (22) Заявлено 15. 02. 80 (21) 2881700/22-02 с присоединением заявки И (23) Приоритет Опубликовано 15 ° 01 ° 82. Бюллетень М 2 Дата опубликования описания 18 . 0 1. 82 (53)M. Кл. F 27 В 9/20 Государственный квинтет СССР но делам изобретен...

  ОПИСЛНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскик Социалистических Республик «»966497 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1б. 03. 81 (21) 3262914/18-10 (И)М.Кп з G 01 F 11/00 H 01 L 21/00 с присоединением заявки ¹ Государственный комитет СССР по делам изобретениИ и открытий (23) Приоритет Опубликовано 15.10.82.Бюллетень ¹ 38 Дата опубликования...

  Изобретение может быть использовано в уплотнениях, используемых в газовых системах при физико-термической обработке. Цель изобретения - повышение надежности уплотне нияь Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5. На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7. Центри рующее кольцо 6 установлено между торцовыми поверхностями гайки 4 и втулки 5...

  Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам, предназначено для микроочистки любой среды (газов, жидкостей) в процессах микроэлектроники, может быть использовано и в любых других областях и позволяет повысить производительность фильтра. Фильтр, содержащий горизонтальный корпус и установленные последовательно по ходу движения потока рассекатель и два фильтрующих элемента, сн...

  Изобретение м.б использовано в трубопроводной арматуре для физико-термического оборудования. Цель изобретения повышение надежности клапана за счет улучшения условий фильтрации. В корпусе 1 с входным и выходным каналами 3 и 4 установлен запорный орган 6, управляемый приводом. В канале 4 выполнена выточка с расширяющейся и сужающейся частями в форме двух усеченных конусов 7 и 8 с о...

  Изобретение относится к устройствам отделения газа от пара и жидкости в технологическом оборудовании для производства интегральных схем, преимущественно для процессов диффузии, эпитаксии, напыления и др. Целью изобретения является повышение эффективности очистки газа. а Устройство содержит корпус 1 с патрубком 2 ввода газожидкостной смеси и патрубками 3 и 4 вывода газа и жидкости...

  Использование: к области микрофильтрации газообразных и других сред в процессах микроэлектроники и других областях. Сущность изобретения: выполнение вкладыша с кольцевой проточкой обеспечивает возможность растекания газа по поверхности вставки , а выполнение вставки кольцевой и газопроницаемой позволяет производить равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, независимо от об...

  Сущность изобретения: устройство содержит реактор, внутри которого установлен подложкодержатель (ПД). ПД выполнен в виде диска, размещенного в основании и имеющего сателлиты. Под сателлитами вдиске и основании выполнены газотранспортные и сбросные канавки. На стороне сателлитов, обращенной к диску, выполнены также газотранспортные канавки. Их форма и угловое расположение аналогич...

  Сущность изобретения: устройство содержит реактор, внутри которого размещен подложкодержатель, выполненный в виде диска, размещенного в основании и имеющего сателлиты. Под сателлитами в диске и основании выполнены газотранспортные и сбросные канавки. В устройстве имеются средства ввода и выводи газа. В диске соосно сателлитам выполнены кальцевые проточки, соединенные с началом га...

  Использование: для измерения расхода потока жидкости или газа. Сущность изобретения: в расходомере, содержащем корпус со сквозными каналами с размещенными в них параллельными участками U-образной трубки, с расположенными на них термочувствительными элементами, включенными в мостовую схему , изогнутая часть U -образной измерительной трубки дополнительно заключено и повторяющие ее...

  Использование: в электронной промышленности при производстве микросхем. Устройство содержит вертикальный реактор. В нем установлен полый подложкодержатель, внутри которого размещены подложки . Под подложкодержателем установлена перфорированная перегородка. В нижней части реактора по его оси размещены коаксиальные трубки для ввода парогазовой смеси (ПГС). По центру перфорированной...