Уплотнение

Уплотнение

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение может быть использовано в уплотнениях, используемых в газовых системах при физико-термической обработке. Цель изобретения - повышение надежности уплотне нияь Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5. На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7. Центри рующее кольцо 6 установлено между торцовыми поверхностями гайки 4 и втулки 5 и имеет поперечный паз 9 для прохода уплотнительной металлической шайбы 3. Кольцо 8 установлено с зазором относительно внутренней поверхности гайки 4 и с охватом наружных поверхностей ниппелей 1, 2. Шайба 3 размешена между выступами 5. При сборке шайбу 3 устанавливают пе размещением ее сверху через паз 9 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ!.1ЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPGKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4637023/29 (22) 2 ° 01 ° 89 (46) 15 ° 03 ° 91. Бюл. Н - 10 (72) А»Т,Буравцев, С К.Ермашов и В»Н,Симкин (53) 62-762(088.8) (56) Каталог NoCa-877 фирмы "CaZon

Company", Vacuum Products, 1977, с. 4, 5.

l (54) УПЛОТНЕНИЕ (57) Изобретение может быть использовано в уплотнениях, используемых в газовых системах при физико-термической обработке Цель изобретения повышение надежности уплотне„„SU„„ 16349Ù А1 (Sl) !! 16 1 15/00

2 ния, Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5 На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7 ° Центри» рующее кольцо 6 установлено между торцовыми по в ерх но стя ми гайки 4 и втулки 5 и имеет поперечный паз 9 для прохода уплотнительной метапли» ческой шайбы 3 ° Кольцо 8 установле но с зазором относительно внутренней поверхности гайки 4 и с охватом наружных поверхностей ниппелей 1, 2 °

Шай!ба 3 размещена между выступами 5» !

1ри сборке шайбу 3 устанавгп4вают перемещением ее сверху через паз 9 °

1 ил, 1634903

„ шайбу в определенном положе о исключает разгерметизац

В е аулу тате з начител

eго ние центрирующего кольца с попереч» ным пазом позволяет при сборке уплот" нения устанавливать шайбу между ниппелями перемещением ее сверху через паз центрирующего кольца, что исключает западание шайбы, фоомулаизобретения

В

Составитель. И,1!ащенко

Техред М.Дидык

Редактор А. Ог ар

Корректор В. Гирняк

Заказ 743

Тираж 447

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ Ct, ÑÐ

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/3

Производственно-издательский комбинат "Патент". г.Ужгород, ул. Гагарина,101

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, в частно сти к уплотнениям, используемым в газовых системах при физико-термической обработке, в процессе диффузии, эпитаксии, вакуумного нанесения.

Цель изобретения - повышение надежности уплотнения °

На чертеже представлено уплотне- 10 ние, разрез °

Уплотнение содержит ниппели 1 и

2, между которыми расположена уплотнительная металлическая шайба 3, Нип» пели 1 и 2 с шайбой 3 установлены 15 внутри накидной гайки 4 и втулки 5, На торцовой поверхности ниппелей вы» полнены тороидальные выступы 6 и 7.

Между торцовыми поверхностями накидной гайки 4 и втулки 5 установлено 20 центрирующее кольцо 8, расположенное с зазором относительно внутренней поверхности накидной гайки и с охва» том наружных поверхностей ниппелей»

В центрирующем кольце 8 выполнен по- 25 перечный паз 9 дпя прохода шайбы 3, Уплотнительная шайба 3 размещена между торо ндал ь ными выступ ами ниппелей 1 и 2i

Снабжение уплотнения центрирующим 30 кольцом 8 и размещение его между накидной гайкой и наружной поверхнос тью ниппелей и шайбы позволяют удер»

Уплотнение, преимущественно для физико термического оборудования, содержащее ниппели, охваченные накидной гайкой и втулкой, причем на торцовой поверхности ниппелей выполнены тороидальные выступы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, оно снабжено уппотнительной металлической шайбой и центрирукщим кольцом с поперечным пазом для прохода указанной шайбы, при этом центрируюшее кольцо установлено между торцовыми поверхностями накидной гайки и втулки с зазором относительно внутренней поверхности накидной гайки и с охватом наружных поверхностей ниппелей, а уплотнительная шаиба размещена между тороидальными выступами ниппелей.