Вентиль
Иллюстрации
Реферат
(61) Дополиительиое к авт. евид-ву (22) Заявлеио 15.07.77 (21) 2509233/25 — 08 е присоединением заявки ¹
Гащдервтввнай емпвт
СССР в явим «зебрами и аткритяй
ОпУблиповаио 25,05,79. Бязллетеиь 34 1 (72) Авторы изобретения
{71) Заявитель (54) ВЕК 1 ИЛЬ
Изобретение относится к венпшям расхода газовых сред и может найти широкое применеwe в областях техники, где требуется плавная регулировка расхода газов, например в газовых системах зпитаксиальных, плазмохимических и диффузионных установок полупроводникового %, . производства, Известен вентиль, содержащий корпус со съемной крышкой, в котором расположен запорный орган со шпинделем, приводимой в движе-: ние маховиком, взаимодействующим с упругой те оболочкой, заполненной жидкостью 11).
Известен также другой вентиль, в его корпусе со съемной крышкой расположен запорный орган, взаимодействующий с нажимным винтом через приводной гидравлический узел (23, Известные вентили имеют большие габариты и сложную конструкцию.
Цель изобретения — уменьшение габаритов и упрощение конструкции вентиля., - Э
Для этого в предлагаемом вентиле приводнои гидравлический узел выполнен в виде упругих оболочек с фланцами, установленных на торцах съемной крышки, в которой выполнено калибро-, 2. ванное отверстие. Верхний фланец снабжен с хвостовиком, входящим в калиброванное отверстие сьемной крышки, На чертеже изображен описываемый вентиль, продольный разрез.
На корпус 1. вентиля сверху установлена крушка 2 с калиброванным отверстием 3 н размещенными на ней упругими оболочками 4 и 5 приводного гидравлического узла. К оболочке 4, расположенной вне газового тракта, через крепежный фланец 6 и прокладку 7 болтами 8 крепится нажимной фланец 9 с хвостовнком 10, имеющим меньший диаметр, чем комбинированное отверстие 3. Хвостовик 10, входя в отверстие 3, образует s паре с ним капиллярный канал. В хвостовике 10 имеется зарядный канал 11, уплотненный через прокладку 12 винтом 13. Между крепежным фланцем 6 и крышкой 2 установлена возвратная пружина 14. На . нажимной фланец 9 опирается нажнмной винт
15, расположенный в стакане 16, установлен нам на крышке 2. В крышке 2 выполнен ханал 17, в котором размещен обратный клапан 18.
3 6
Упругая оболочка 5 расположена внутри га зового тракта и снабжена фланцем 19 с толкателем 20. Толкатель 20 размещен в направляющей шайбе 21 с каналами 22 для прохода газа. Шайба 21 прижата к корпусу 1 седлом 23.
Объем между упругими оболочками 4 и 5, отверстием 3 и каналами 11, 17 заполнен жидкостью 24. Между фланцем 19 и направляющей шайбой 21 через шайбу 25 с каналами 26 для прохода газа установлена возвратная пружина
27. На седле 23 установлена фторопластовая втулка 28 с мембраной 29 и запорным элементом 30, в который для жесткости вставлена игла 31, подпружиненная пружиной 32 относительно крышки 33, установленной на втулку 28.
При приложении оператором определенного усилия к нажимному винту 15, который передает его на нажимной фланец 9, начинается сжатие упругой оболочки 4 и вытеснение жидкости
24 через капнллярный канал. Количество жидкости, проходящее через капиллярный канал в единицу времени, находится в прямой зависимости от усилия, приложенного к нажимному винту оператором, Количество жидкости, проходящее через капиллярный канал в единицу времени при определенном усилии, определяет увеличение объема упругой оболочки 5, а следовательно и скорость перемещения толкателя 20 в единицу времени.
Таким образом, варьируя значениями размеров цепи, вязкости жидкости и плотности, получаем желаемую скорость перемещения толкателя 20, т.е. желаемую плавность регулирования при данном усилии, создаваемом оператором.
Перемещение хвостовика 10 в отверстиии 3 предотвращает явление облитерации, Плавно перемещаясь, толкатель 20 давит на запорный элемент 30, отжимая его от седла 23, 63925 4 в.образовавшийся кольцевой зазор проходи ре. гулируемая газовая среда.
При перемещении нажимного винта 15 вверх .по резьбе в нижней оболочке 5 под действием возвратных пружин 14, 27 и входного давления газовой среды создается избыточное давление, которое приподнимает обратный клапан 18, и жидкость 24 через канал 17 быстро перетекает в верхнюю упругую оболочку 4, прижимая на1о жимной фланец 9 к нажимному винту 15. При этом нижняя упругая оболочка 5 сжимается, :а толкатель 20 поднимается.
Прижимаемый к толкателю 20 пружиной 32 запорный элемент 30 также поднимается, перекрывая кольцевой зазор в седле 23. Вентиль запирается.
Формула изобретения
Вентиль, содержащий корпус со съемной крышкой, в котором расположен зацорный орган, взаимодействующий с нажимным винтом через приводной гидравлический узел, о т л и25 ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения конструкции, приводной узел выполнен в виде упругих оболочек с фланцами, установленных на торцах съемной крышки, в крышке выполнено калиброванЗО ное отверстие, а верхний фланец снабжен хвостовиком, входящим в отверстие крышки, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР N 294035, 35 кл. F 16 К 1/02, 1969.
2. Заявка Р 2386970/25 — Я08), кл. F 1 6К1/02, 1976, по которой принято решение о выдаче авторского свидетельства.
Составитель М. Кольцова
Техред С Мигай
Корректор О Ковинская
Редактор В. Днбобес
Тираж 1138 Подписное
11НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 29á5/33
Филиал ППП Патент, г..ужгород, ул. Проектная,4