Распределительное устройство для нанесения резистивных покрытий

Распределительное устройство для нанесения резистивных покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

«»966497 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1б. 03. 81 (21) 3262914/18-10 (И)М.Кп з

G 01 F 11/00

H 01 L 21/00 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

СССР по делам изобретениИ и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.10.82.Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 15.10.82 (33) УДК 681.121.08 (088.8) (72) Авторы. изобретения

Л.Н. Каплин и А.Т. Буравцев (71) Заявитель (54) РАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

РЕЗИСТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к распределительным и дозиру еним устройствам, в частности к распределительным устройствам для нанесения фото- и элек5 тронорезистивных покрытий.

Известно дозирующее устройство, содержащее корпус, запорную и капилляр подачи. резиста 1 . Недостатками этого устройства яв- 10 .ляются скапливание в дозируищих отверстиях и капиллярах остатков ревиста и загрязнение наносимого покрытия полимеризованным резистом.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является распределительное устройство для нанесения реэистивных покрытий, содержащее бак с резистом, связанный с ним трубопровод подачи ревиста. с.дозирующим отверстием на выходе, источник давления, подсоединенный к баку и механизм запирания отверсt-").

Недостатками этого устройства являются невысокое качество наносимых 25 пленок, обусловленное образованием воздушных пузырей внутри трубопровода и при истечении струи из отверстий из-за малой толщины стенки трубы в которой они выполнены. Кроме того, 30 невозможна промывка деталей и узлов механизма запирания доэнрунмцих отверстий без их полной или частичной разборки.

Цель изобретения — повышение качества наносимых пленок, а также обеспечение промывки устройства.

Укаэанная цель достигается тем, что распределительное устройство для нанесения резистивных покрытий, содержащее бак с резистом, связанный с ним трубопровод подачи реэиста с доэирукщим отверстием на выходе, источник давления, подсоединенный к баку, и механизм эапирания отверстий, снабжено источником вакуума, вторым трубопроводом, штуцерами на выходе трубопроводов, и жестко установленным в корпусе тройником с отверстиями в горизонтальной плоскости, два иэ которых соосны и уплотнены штуцерами, а механизм запирання отверстий выполнен в виде вертикально установленного пневмоцилиндра, хомутиков для крепления штуцеров, каждый из которых шарнирно связан с введенными направляющим и подпружиненным си,ловым рычагами, причем направляющий рычаг шарнирно подсоединен к кор966497

Штуцера 3 отводят из исходного положения В.в рабочее положение Б в укаэанном порядке. Флажок 17 нажимает на кнопку микропереключателя 16, при этом разряжение в баках, 5 11 меняется на давление, выдается порция реэиста на пластину (доза регулируется, напрймер по реле време,ни), после чего. давление снова.сменя этся разряжением, резист втягиваfp ется в отверстия штуцеров 3 на

5-10 мм, и они возвращаются в исходное положение В в указанном порядке.

Ъусу, а силовой — к штоку пневмоцилиндра.

Кроме того, оно снабжено баком для растворителя и подсоединенным к нему третьим трубопроводом, который, в свою очередь, через клапан додсоединен к третьему отверстию > тройника.

На фиг. 1 показано устройство, общий.вид; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.

Распределительное устройство содержит корпус 1, в котором жестко установлен тройник 2, выполненный, например из фторопласта. Два противоположно расположенных отверстия 15 тройника 2 уплотняются штуцерами 3.

Каждый штуцер через хомутик 4 шарнирно связан направляющим рычагом 5 с корпусом 1. Силовые рычаги б через пружины 7 взаимодействуют со штоком

8 пневмоцилиндра 9 и переводят ытуцера 3 из исходного положения В в:рабочее Б .и обратно.

Штуцера 3 соединяются гибкими трубопроводами 10 с баками 11 для резис- 25 та, которые подключаются в свою очередь к системе подачи азота под давлением и вакуумной магистрали.

Боковое отверстие тройника 2 соединяется через клапан 12 гибким трубопроводом 13 с емкостью 14 для расу- о ворителя, подключенноР к системе подачи азота под давлением и вакуумной магистрали.

Для фиксации поворота направляющих рычагов 5 устанавливаются регулиру- 35 емые упоры 15. Для подачи сигналов начала и конца операции предусмотрены микропереключатели 16, на кноп» ки которых нажимает флажок 17, который закреплен на планке 18, свя- зывающей шток 8 с силовыми рычагами б. Микропереключатели 16 закрепляются на корпусе 1 с помощью кронштейнов 19.

Распределительное устройство рабо-. 45 тает следующим образом.

Подается давление в пневмоцилиндр

9, шток 8, плавно разжимая пружины 7, воздействует через силовые рычаги 5 и направляющие рычаги б на хомутики

4, в которых закреплены штуцера 3,. и отводит их иэ исходного положения В в рабочее положение Б.

Штуцера 3 через трубопроводы 10 из емкости 11 под небольшим давлением азота заполняются резистом, пос- 55 ле чего давление меняется на разряжение таким образом, чтобы резист втянуло обратно в отверстие штуцеров на 5-10 мм. Давление в пневмоцилиндре 9 отключается, пружины 7 воз- 60 вращают штуцера 3 и шток 8 в исходное положение в -обратном порядке; герметично уплотняя отверстия тройника 2.

Распределительное устройство подго-, товлено к работе. 65

После уплотнения противоположно расположенных отверстий тройника 2 штуцерами 3, открывается клапан 12, запиракщий боковое отверстие тройника 2, и пары растворителя из бака 14 попадают в полость тройника 2, исключая возможность засыхания остатков резиста в отверстиях штуцеров 3, даже при остановке работы на длительное время.

Для исключения образования осадка смолы,, сохранения постоянной вязкости резиста по объему, а также удобства замены емкостей резиста, требуется периодическая перекачка резиста при нахождении штуцеров 3 в исходном положении В из одной емкости 11 в другую при закрытом клапане 12 поочередной сменой давления в емкостях 11.

Для полной промывки растворите лем и продувки азотом полости тройника 2, отверстий штуцеров 3., а также трубопроводов 10, например, при смене марки резиста, штуцера находятся в исходном положении В, клапан 12 открыт, давление подается в емкость 14 при отсутствии баков 11, замененных технологическими бачками. Продувка осуществляется автоматически после окончания порции растворителя в баке 14 и поступления азота через полость тройника 2 в отверстия штуцеров и трубопроводы ..

Для частотной промывки полости тройника 2 и наружных поверхностей штуцеров 3 при их нахождении в рабочем положении Б, клапан 12 открыт, давление подается в блох 14,, растворитель проходит через полость тройника 2,и, вытекая через открытые отверстия, омывает наружные поверхности штуцеров 3.

При эксплуатации в производственных условиях предлагаемое устройство надежно в работе с фотореэистами типа РН-7, ФН-383. и электронными реэистами (ЙХД ), просто в обслужива нии, профилактике. Дозирующие отверстия надежно. защищены от засыхания, а в струйке реэиста отсутствуют.частички воздуха.

966497

Формула изобретения

1. Распределительное устройство для нанесения резистивных покрытий содержащее корпус, бак с резистом, связанный с ним трубопровод подачи ревиста с дозирующим отверстием на выходе, источник давления, подсоеднненный к баку, и механизм запирания Отверстий, о т л и ч а ю щ е -. е с я тем, что, с целью повышения качества наносимж пленок, оно снаб .жено источником вакуума, вторым тру.бопроводом, штуцерами на вйходе трубопроводов и жестко установленным в корпусе тройником с отверстиями в горизонтальной плоскости, два из которых соосны и уплотнены штуцерами, а механизм запирания отверстий выполнен в виде вертикально установленного пневмоцилиндра, хомутиков для крепления штуцеров, каждый иэ которых шарнирно связан с введенны ми направляющим и подпружиненным силовым рычагами, причем направляющий рычаг шарнирно подсоединен к корпусу, а силовой - к штоку пневмоци5 лннжа.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения его промывки, оно снабжено баком для растворителя и подlP соединенным к нему третьим трубопроводом; который, !в свою очередь, через клапан подсоединен к третьему отверстию тройника.

1 5 ИстОчники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Каталог фирьы "Atlas Handela.

1969, с. 2-20.

2. авторское свидетельство CCCP

20 Р 579666, кл. Н 01 L 21/00, 15 04 75 (прототип).

966497

Составитель Т.Устинова

Редактор И. Касарда Техред М. Гергель Корректор А. Ференц

А °

Заказ 7829/57 . Тирвк 673 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.113035, Москва, g-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4