Устройство для отделения газа от жидкости

Устройство для отделения газа от жидкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к устройствам отделения газа от пара и жидкости в технологическом оборудовании для производства интегральных схем, преимущественно для процессов диффузии, эпитаксии, напыления и др. Целью изобретения является повышение эффективности очистки газа. а Устройство содержит корпус 1 с патрубком 2 ввода газожидкостной смеси и патрубками 3 и 4 вывода газа и жидкости соответственно . На дне корпуса 1 закреплена соединенная с патрубком 2 ввода смеси и патрубком 4 вывода жидкости спиральная перегородка 5. Под дном корпуса 1 установлен первый теплообменник 6. Над выполненной в виде усеченного конуса 7 и соединенной меньшим основанием 8 с патрубком 3 вывода газа верхней частью корпуса 1 установлен второй теплообменник 9. На патрубке 3 вывода газа расположен третий теплообменник 10. Между патрубком 3 вывода газа.и перегородкой 5 установлена пластина 11. Внутренняя поверхность 12 усеченного конуса 7 корпуса 1 выполнена из сорбирующего материала. 1 ил. -/# (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 В 01 О 19/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4804807/26 (22) 19.02.90 (46) 07.04.92. Бюл. М 13 (71) Н аучно-исследовательский институт точного машиностроения (72) А.Т.Буравцев, Л.А,Милль и М.Ф.Егорова (53) 66,069.84 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1360765, кл. В 01 D 19/00, 1985. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТДЕЛЕНИЯ ГАЗА

ОТ ЖИДКОСТИ (57) Изобретение относится к устройствам отделения газа от пара и жидкости в технологическом оборудовании для производства интегральных схем, преимущественно для процессов диффузии, эпитаксии, напыления и др, Целью изобретения является повышение эффективности очистки газа.

„„ЫЛ„„1724310 А1

Устройство содержит корпус 1 с патрубком

2 ввода газожидкостной смеси и патрубками 3 и 4 вывода газа и жидкости соответственно. На дне корпуса 1 закреплена соединенная с патрубком 2 ввода смеси и патрубком 4 вывода жидкости спиральная перегородка 5. Под дном корпуса 1 установлен первый теплообменник 6. Над выполненной в виде усеченного конуса 7 и соединенной меньшим основанием 8 с патрубком 3 вывода газа верхней частью корпуса 1 установлен второй теплообменник 9. На патрубке 3 вывода газа расположен третий теплообменник 10. Между патрубком 3 вывода газа .и перегородкой 5 установлена пластина 11. Внутренняя поверхность 12 усеченного конуса 7 корпуса 1 выполнена из сорбирующего материала. 1 ил.

1724310

Изобретение относится к области отделения газа от пара и жидкости в технологическом оборудовании для производства интегральных схем, преимущественно в физико-термическом оборудовании при процессах диффузии, эпитаксии, напылении и др.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки газа.

На чертеже представлено устройство для отделения газа от жидкости, общий вид.

Устройство содержит корпус 1 с патрубком 2 ввода газожидкостной смеси,,патрубком 3 вывода газа и патрубком 4 вывода жидкости. Внутри корпуса 1 над патрубком

4 вывода жидкости закреплена соединенная с патрубком 2 ввода парогазожидкостной смеси, закрученная в спираль перегородка 5. Под дном корпуса 1 с перегородкой 5 установлен первый теплообменник 6, который может быть в зависимости от пОступающей смеси как холодильником, так и нагревателем. Верхняя часть корпуса 1 выполнена в виде усеченного конуса 7, который меньшим основанием 8 соединен с патрубком 3 вывода газа и над которым размещен второй теплообменник 9.

На патрубке 3 вывода газа расположен третий теплообменник 10. Между патрубком 3 вывода газа и перегородкой 5и соосно им установлена пластина 11, Внутренняя поверхность 12 усеченного конуса 7 корпуса 1 выполнена из сорбирующего материала.

Устройство для отделения газа от жидкости работает следующим образом.

Парогазожидкостная смесь, например эрсин, фосфин, соляная кислота (после проведения эпитаксиальных, диффузионных и других физико-термических процессов), через патрубок 2 ввода смеси поступает на дно с закрученной в спираль перегородкой

5, где смесь подогревается или охлаждается установленным под дном корпуса 1 теплообменником 6, что позволяет большему количеству токсичных веществ раствориться в жидкости, которая уходит в техническую канализацию через патрубок 4 вывода жидкости. Парогазовая смесь поднимается над перегородкой 5 и подходит к пластине 11 и усеченному конусу 7, который охлаждается вторым теплообменником 9.

Пар превращается в жидкость, падает вниз и уходит в патрубок 4 вывода жидкости, а газ идет в патрубок 3 вывода газа, который охлаждается третьим теплообменником 10, где остатки пара и жидкости стекают вниз, а очищенный газ уходит в патрубок 3 вывода газа.

Второй теплообменник 9 работает сначала как холодильник для того, чтобы внут5

50 ренней поверхностью усеченного конуса корпуса из сорбирующего материала (например, цеолит, силикагель, активный уголь) поглощать все токсичные жидкие.и парогазообразные вещества. Периодически второй теплообменник 9 работает в качестве нагревателя для восстановления сорбента, нанесенного на внутреннюю поверхность усеченного конуса корпуса.

Снабжение закрученной в спираль перегородкой, закрепление ее на дне корпуса и соединение ее с патрубками ввода смеси и вывода жидкости позволяет удлинить путь прохода парогазожидкостной смеси, за счет чего большее количество газа растворяется в жидкости (воде), которая уходит в техническую канализацию, а газ, свободный от токсических веществ, уходит в патрубок вывода газа, а затем — в скруббер для сжигания или в вытяжную вентиляцию, что значительно улучшает экологию и сохраняет окружающую среду.

Снабжение первым теплообменником, размещенным под перегородкой, позволяет при прохождении через нее смеси охлаждать ее или нагревать (в зависимости от ее состава), что приводит к большему растворению в жидкости паро- и газовых вредных веществ, что также улучшает экологию и сохраняет окружающую среду.

Выполнение верхней части корпуса в виде усеченного конуса и снабжение его вторым теплообменником — холодильником (или нагревателем) позволяет образовывать и отделять образовавшиеся капельки жидкости с вредными включениями от газа, которые стекают вниз корпуса в патрубок вывода жидкости, что улучшает экологию и сохраняет окружающую среду.

Снабжение патрубка вывода газа третьим теплообменником — холодильником также позволяет образовывать капельки жидкости с токсичными включениями и удалять их в патрубок вывода жидкости, что значительно улучшает экологию и сохраняет окружающую среду.

Снабжение устройства установленной между перегородкой и патрубком вывода газа и соосно им пластиной обеспечивает при подходе к ней газа с капелькой жидкости их контакт, что приводит к падению капель вниз и удалению их в патрубок отвода жидкости и, соответственно, к улучшению экологии и сохранению окружающей среды.

Выполнение внутренней поверхности усеченного конуса корпуса из сорбирующего материала, например цеолита, силикагеля или активного угля, позволяет поглощать токсичные вещества жидкости, пара и газа, 1724310

25

35

45. 50

Составитель Т.Буравцев

Техред М.Моргентал Корректор А.Осауленко

Редактор И.Шулла

Заказ 1132 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 что приводит к удалению через патрубок вывода газа уже очищенного газа, который идет в скруббер или вытяжную вентиляцию, что приводит к улучшению экологии и сохранению окружающей среды. 5

Кроме того, устройство для отделения газа от жидкости при использовании его в физико-термических процессах, приводит к повышению процента выхода годных изделий — микросборок за счет повышения сте- 10 рильности процесса, повышению их качества, оно несложно и надежно в эксплуатации.

Формула изобретения 15

Устройство для отделения газа от жидкости, содержащее корпус с патрубками ввода газожидкостной смеси, вывода жидкости и с дном, под которым расположен первый теплообменник, отражатель, патрубок вывода газа, размещенный на верхней части корпуса, второй и третий теплообменники, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности очистки газа, оно снабжено спиральной перегородкой, размещенной на дне и соединенной с патрубками ввода и вывода жидкости, верхняя часть корпуса выполнена в виде усеченного конуса, второй теплообменник установлен снаружи усеченного конуса, а третий теплообменник — снаружи патрубка вывода газа, причем отражатель выполнен в виде пластины и установлен соосно между патрубком вывода газа и спиральной перегородкой, а внутренняя поверхность усеченного конуса выполнена из сорбирующего материала.