Тимофеев М.А.(RU)

 Предлагаемый способ осаждения вещества на поверхность подложки относится к области осаждения пленок на подложки, в том числе к способам осаждения однородных алмазных пленок на подложки большой площади. Предлагаемый способ заключается в том, что из генерируемой плазмы через выполненную в плоском аноде, по крайней мере, одну щель, на подложку, расположенную под анодом параллельно ему, осуще...

 Изобретение относится к области получения высокоэффективных пленок для полевых эмиттеров электронов, которые могут быть использованы для создания плоских дисплеев, в электронных микроскопах, СВЧ-электронике, источниках света. В предлагаемом холодноэмиссионном катоде, содержащем подложку с нанесенной на нее углеродной пленкой, углеродная пленка выполнена в виде нерегулярной структуры, сост...