ГИНГИС АЛЕКСАНДР ДАВИДОВИЧ

  6377б6 Формула изобретения Составитель В. Белоусов Редактор Л. Тюрина Техред О. Луговая Корректор Л. Веселовская а к вз 7 I 02/37 Тирам 579 - Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета .Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий I !3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал, ПГ!П «Патент», г. Ужгород. ул. Проектная, 4 кой снстемы, например медн нлн серебра, а...

  Изобретение Относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет измерения относительной неиндентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал. Пучок лучей, формируемый источником 1 когерентного монохроматического излучения, направляют на дифракционную решетку 5. Дифракционные максимумы 2 и 1 порядка преобразуются ф...

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике контроля и может быть использовано при литографической обработке изделий для контроля топологических структур на фотошаблонах и пластинах в процессе их формирования. Целью изобретения является расширение диапазона измерений за счет обеспечения возможности контроля размеров, сравнимых с длиной волны излучения. Для этого освещ...