Способ контроля ширины штриха дифракционной решетки

Способ контроля ширины штриха дифракционной решетки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение Относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения за счет измерения относительной неиндентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал. Пучок лучей, формируемый источником 1 когерентного монохроматического излучения, направляют на дифракционную решетку 5. Дифракционные максимумы 2 и 1 порядка преобразуются фотопреобразователями 2, 3 в электрические сигналы , которые делятся друг на друга блоком 4 деления. По результату деления ро судят о ширине штриха дифракционной решетки 5. При калибровке устройства фотопреобразователи 2, 3 меняют местами и вновь находят отношения электрических сигналов ркк с помощью блока 4 деления. Вычисляют неидентичность коэффициентов передачи б фотопреобразователей 2, 3 по формуле 5 / о /М , -1. 2 ил. (Л Ю о О5 сл фиё .

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (59 4 (3 01 В 21/00 л

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3800827/24-28 (22) 07.10.84 (46) 15.02.87. Бюл. № 6 (72) А. Д. Гингис, А. Т. Ключников, И. Н. Маренков, Ю. И. Новиков и А. Г. Сухачев (53) 531.717 (088.8) (56) Крылов К. И., Прокопенко В. Т., Митрофанов А. С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978, с. 257, рис. 151.

Патент США № 4303341, кл. G 01 N 21/32, НКИ 356 — 384, 1981. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШИРИНЫ

ШТРИХА ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения — повышение точности измерения за счет изме„„SU„„1290065 рения относительной неиндентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал. Пучок лучей, формируемый источником 1 когерентного монохроматического излучения, направляют на дифракционную решетку 5. Дифракционные максимумы 2 и 1 порядка преобразуются фотопреобразователями 2, 3 в электрические сигналы, которые делятся друг на друга блоком 4 деления. По результату деления р, судят о ширине штриха дифракционной решетки 5. При калибровке устройства фотопреобразователи 2, 3 меняют местами и вновь находят отношения электрических сигналов р- с помощью блока 4 деления.

Вычисляют неидентичность коэффициентов передачи о фотопреобразователей 2, 3 по формуле о = л. ("Х 7ю — l. 2 мл.

1290065

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля средней ширины штрихов дифракционной решетки.

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет измерения относительной неидентичности коэффициентов передачи при преобразовании.

На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства, реализующего предлагаемый способ; на фиг. 2 — дифракционный спектр дифракционной решетки.

Устройство содержит источник 1 когерентного монохроматического излучения, фотопреобразователи 2 и 3, установленные в зоне формирования максимумов второго и первого порядка, блок 4 деления, входы которого подключены к фотопреобразователям 2 и 3, и дифракционную решетку 5.

Способ реализуется следующим образом.

При освещении дифракционной решетки 5 источником 1 когерентного монохроматического излучения в зоне установки фотопреобразователей 2 и 3 формируются дифракционные максимумы второго и первого порядков. Электрические сигналы, снимаемые с фотопреобразователей 2 и 3 делятся друг на друга блоком 4 деления.

Ширина штриха дифракционной решетки 5 вычисляется по соотношению

b= — агс cosy —, = 7 . ГК"

% 7 ц где b — ширина штриха дифракционной решетки;

Т вЂ” период дифракционной решетки;

U2 — амплитуда электрического сигнала, снимаемого с фотопреобразователя 2;

U3 — амплитуда электрического сигнала, снимаемого с фотопреобразователя 3, При измерении относительной неидентичности коэффициентов передачи фотопреобразователей 2 и 3 с помощью блока 4 деления находится величина ро, равная

U2

po—

U3 где U2 и UÇ вЂ” амплитуды электрических сигналов, снимаемых с фотопреобразователей

2иЗ.

Затем фотопреобразователи 2 и 3 переставляются местами, т. е. фотопреобразователь 2 фиксирует интенсивность дифракционного максимума первого порядка, а фотопреобразователь 3 фиксирует интенсивность дифракционного максимума второго порядка.

С помощью блока 4 деления находится величина р-, равная

U2 ин — V3У где U2 и UÇ вЂ” амплитуды электрических сигналов, снимаемых с фотопреобразователей2 и 3.

Относительная неидентичность коэффициентов передачи фотопреобразователей 2 и 3 вычисляется по формуле

10 =70Ь

По величине о,судят о неидентичности коэффициентов передачи фотопреобразователей 2 и 3, связанной с погрешностью измерения ширины штриха дифракционной решетки 5.

Использование предлагаемого способа позволяет повысить точность измерения ширины штриха дифракционной решетки за счет возможности оперативной проверки и

20 подстройки коэффициентов передачи фотопреобразователей.

Формула изобретения

Способ контроля ширины штриха дифракционной решетки, заключающийся в том, что освещают дифракционную решетку когерентным монохроматическим пучком света, формируют в проходящем или отраженном пучке света дифракционную картину, раздельно преобразуют интенсивности максимумов и-го и m-ro порядков в электрические сигналы, а по отношению амплитуд электрических сигналов, определяют ширину штриха дифракционной решетки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля за счет измерения относительной неидентичности коэффициентов передачи при преобразовании в электрический сигнал, преобразуют интенсивности максимумов m-го и иго порядков раздельно и периодически в электрические сигналы, находят отношение

40 амплитуд электрических сигналов, вычисляют относительную неидентичность о коэффициентов передачи по формуле

Б = — 1, 45 где 6 — относительная неидентичность коэффициентов передачи; ро — отношение амплитуд электрических сигналов при преобразовании максимумов и-to и т-го порядков — отношение амплитуд электрических

50 сигналов при преобразовании максимумов m-го и и-го порядков.

1290065

Составитель Т. Айсин

Редактор Т. Митейко Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 7887/34 Тираж678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4