БЕРЕЗКИН ВАЛЕРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  Союз Советских Социалистических Реслублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Опубликовано 25.04.79. Бюллетень № 15 Дата опубликования описания 05.05.79 (51) М, Кл, G 11 С 11/40 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 681.327..66 (088.8) В. А. Березкин, Е. Б. Володин,Ю.М. Полубояринов и В. В. Ракитин (72) Авторы изобретения 1 (2...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Х АВТРРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических. Республик (ii) 822291 Ф l (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04. 07 ° 78 (21) 2636665/18-24 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет. 09. 10. 75 Опубликовано 15.0481. Бюллетень № 14 Дата опубликования описания 150481 (51)М. Кл.з G 11 С 11/42 Государственныф комитет СССР Ilo...

  Сото э Советских Соцнапнстнческнх Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и)1005224 (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлеио09.06.80 (21) 2938199/18 25 (5I }M. Кл. Н 01 L 29/78 с присоединением заявки №вЂ” Гееуаарствееей кетелтет (23) Приоритет- Опубликовано 15.03.83.. Б|оллетень ¹ 10 Дата опубликования описания 15,03.83 le млаи лзебретел...

  Изобретение относится к полупроводниковым микроэлектронным первичным преобразователям концентрации водородсодержащих газов, используемым в технологических процессах микроэлектронной и химической промышленности, атомной энергетике. Элементы преобразователя выполнены на тонкой консоли, являющейся частью полупроводниковой подложки (толщиной не менее двух ОПЗ), что обеспечивает стаби...