ХРУСТАЛЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ

  1!ц659642 ОПИСАНИЕ ИЗОБР ЕТ ЕН И Я Союз Советскйх Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.10.77 (21) 2530178/18-21 (51) М. Кл.-" С 23С 13/12 с присоединением заявки "А Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень Л Ъ 16 (53) УД1 621.793.14 (088.8) по делам изобретений и открытий...

  .l А.С.Валеев, Е.В.Дмитриев, В.Б.Дубовико Д.Б.Дубовиков, В.Л.Евдокимов, В.И.Иван Н.А.Фатеев, И.Ш.фишель и В.A.Õðóñòàëåâ (72) Авторы изобретеиия (7l ) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ КЛАПАН Изобретение относится к оборудо,ванию, которым оснащаются системы для достижения вакуума, и может быть использовано в оборудовании,применяемом для получения микросхем, оптических и других деталей...