Испаритель для нанесения сложных соединений материалов

Испаритель для нанесения сложных соединений материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1!ц659642

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР ЕТ ЕН И Я

Союз Советскйх

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.10.77 (21) 2530178/18-21 (51) М. Кл.-"

С 23С 13/12 с присоединением заявки "А

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень Л Ъ 16 (53) УД1 621.793.14 (088.8) по делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования описания 30.03.79 (72) Авторы изобретения

Ю. М. Буккер, А. С. Валеев, А. А. Ванин, Г. В. Евдокимов, И. Ш. Фишель и В. А. Хрусталев (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

СЛОЖНЫХ СОЕДИНЕНИЙ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к тонкопленочной технологии и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности для получения композиционных покрытий с заданным составом при вакуумном осаждении.

Известно устройство, в котором получение покрытий из композиционных сплавов достигается за счет испарения компонент сплава из отдельных источников; оно обеспечивает получение сплавов практически с любым процентным содержанием компонент за счет регулирования скорости испарения каждой компоненты (1).

Недостаток устройста состоит в том, что в связи с невозможностью совмещения диаграмм испарения нельзя получать сплавы с одинаковым процентным содержанием на различных участках поверхности осаждения.

Из известных технических решений наиболее близким по технической сущности к изобретению является испаритель для нанесения сложных соединений материалов, содержащий тигель, !разделенный на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и фокусирующий электрод-прожектор с размещенным в нем нагревателем-катодом (2).

Недостаток этого устройства заключается в невозможности регулирования процентного содержания компонент сплава в процессе испарения.

Цель изобретения — регулирование процентного содержания компонент сплава в процессе пспа!рения. Достигается это благодаря тому, что в испарителе для нанесения сложных соединений материалов, со10 держащем тигель, разделенный на коаксиально расположенные секции, число котоpbn равно числу пспаряемых компонент, и фокусирующпй электрод-прожектор с размещенным в нем нагревателем-катодом, ко15 аксиально расположенные секции тигля электрически изолированы одна от другой и находятся под различными потенциалами относительно нагрсвателя-катода, потенциал которого отличен от потенциала корпуса.

На чертеже представлена конструкция испарителя.

На нижней плите 1 на изоляторах 2 крепится верхняя плита 3, на которой установлен фокусирующий электрод-прожектор

4. Нагреватель-катод 5, выполненный в виде кольца, размещен внутри фокусирующего электрода-прожектора. Один вывод нагреватель-катода соединен с верхней зо плитой, второй изолирован. Секции 6 и 7

Иад. № 302

Подписное

Заказ 1150/1

Тираж 1138 тигля располагаются внутри фокусирующего электрода-прожектора. Секция 6 закреплена на нижней плите на стойке 8, а секция 7 установлена на держателях 9 и стойках 10, которые укреплены на нижней плите па изоляторах 11.

При такой конструкции устройства на на реватель-катод и фокусируюгций электрод-прожектор подается регулируемое напряжение постоянного тока величиной от

0 до — 20>00 В, секция 6 тигля находится под потенциалом корпуса, а па секцию 7 тигля поступает регулируемое напряжение постоянного тока величиной от 0 до

-+1000 В. Отношение скоростей испарения компонент сплава определяется величиной напряжения, поданного на секцию 7 тигля, а абсолютно величины скоростей испарения компонент при их постоянном отношении — напряжением смещения нагревателя-катода относительно корпуса.

Изобретение повышает точность процентного состава осаждаемых сплавов по всеи поверхности осаждения, обеспечивает возможность регулирования процентного содержания компонент сплава в процессе испарения и получения сплавов л1обых материалов, что дает новый технико-экономический эффект.

Формула изобретения о

Испаритель для нанесения сложных соединений материалов, содержащий тигель, разделенный на коаксиально расположенныс секции, число которых равно числу ис10 паряемых компонент, и фокусирующий электрод-прожектор с размещенным в нем нагревателем-катодом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью регулирования процентного содержания компонент сплава в процессе испарения, коаксиально расположенные секции тигля электрически изолированы одна от другой и находятся под различными потенциалами относительно напревателя-катода, потенциал которого отличен от потенциала корпуса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3603285, кл. С 23С

13/00, опублик. 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 433252, кл. С 23С 13/00, 1976.

Типография, ир. Сапунова, 2