Лузин А.Н.

 1. Способ получения аморфного твердого тела, включающий напыление металла на холодную подложку, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени аморфизации выше рентгеноаморфного состояния, уменьшения зон когерентного рассеяния, увеличения толщины аморфных изделий, напыление проводят с энергией 0,1 - 1000 эВ с одновременным облучением поверхности растущей пленки атомами гелия с энергией...

 1. Способ получения кристаллического материала, включающий напыление ионов материала на холодную подложку, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры плавления материала и повышения диффузионной подвижности атомов, напыление проводят с энергией 0,1 - 1000 эВ с одновременным облучением поверхности растущей пленки атомами гелия с энергией 50 - 1000 эФ. 2. Способ по п.1, отличающийс...