КАЗЬМИРУК ВЯЧЕСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ

  ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. санд-ву Союз Советскик Социалистическик Реотублик (51) и. кл. (22) Заявлено 29.03.78(21) 2597186/18-25 с присоединениеи замаки Но (23) Приоритет Н 01,7 37/26 Государственный комитет СССР чо делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 385. ,833 (088.8) Опубликовано 0509.79. Еиоллетень Йо 33 Дата опубл...

  Изобретение относится к спосо- ,бам получения изображения в растровом электронном микроскопе (РЭМ) в режиме вторичной электронной эмиссии. Цель изобретения - повышение разрешающей способности, достигается за счет повышения отношения сигнал - шум. Устройство, реализующее способ, содержит элемент, формирующий пучок 1 первичных электронов, отклоняющую систему 2, исследуемый объект 3...

  СОКИ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУВЛИН (19) (11) А1 (51) 4 Н О1 J 37/28 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АЮТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3873615/24-21 (22) 20.03.85 (46) 23,10.86. Бюл. Ф 39 (71) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР (72) В.В. Аристов и В.В. Казьмирук (53) 621.385.83...

  Изобретение относится к растровой электронной микроскопии, в частности к методам оптимизации параметров детекторов потенциального контраста. Цель изобретения - повышение чувствительности детектора к изменению потенциального контраста, достигается путем корркции его передаточной характеристики. Сущность способа заключается в том, что выбираются оптимальные напряжения на электродах...