Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе

Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. санд-ву

Союз Советскик

Социалистическик

Реотублик (51) и. кл. (22) Заявлено 29.03.78(21) 2597186/18-25 с присоединениеи замаки Но (23) Приоритет

Н 01,7 37/26

Государственный комитет

СССР чо делам изобретений и открытий (53) УДК 621. 385. ,833 (088.8) Опубликовано 0509.79. Еиоллетень Йо 33

Дата опубликования описании 0809,".9 (72) Авторы изобретения

H.B.Kà3üìèðóê, М.М.Мьпаляев и A.C.Федоров (71) ЗаявйтЕЛЬ Инсти-.óò Физики твердого тел" AH СССР (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО

ПУЧКА В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

Изобретение относится к электронной микроскопии, в частности к устройствам для отклонения электронного пучка в осветительных системах электронных микроскопов.

Известны устройства для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, которые снабжены достаточно сложными системами юстировки (1) .

Наиболее близко к предлагаемому устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главной оптической осью микроскопа и жестко связанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана (2).

Однако, наличие в устройстве двух раздельных механизмов для перемещения клапана вспомогательной камеры и перемещения и вращения отклоняющих колец усложняет его конструкцию и увеличивает габаритные размеры.

Кроме того, при смене объекта требуется дополнительная юстировка устройства, что усложняет его эксплуатацию.

Цель изобретения — упрощение конструкции устройства и его эксплуатации за счет исключения юстировки при смене объекта.

Указанная цель достигается тем, что отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном.

На чертеже изображена конструктив)0 ная схема устройства.

Отклоняющие кольца 1 и 2, установленные на клапане 3 вспомогательной камеры 4, соосно съюстированы между собой с помощью втулки 5 и гайки 6. Клапан 3 жестко связан с механизмом его перемещения 7, который может перемещаться при вращении ручки 8 относительно корпуса 9 устройства. Устройство расположено в

20 камере объектов 10 микроскопа между конденсорной 11 и объективной

12 линзами. Объектодержатель 13 устанавливают в рабочее положение с помощью штока 14. Аа отклоняющих кольцах 1 и 2 имеются две пары обо моток, сдвинутых на 90, для отклонения электронного пучка в двух взаимно перпеидикулярных направлениях. Кроме того, на кольце 1 име30 ют с я ве корректирующи х обмотки .

Формула изобретения

Составитель В. Гаврюшин

Редактор Б.Федотов Техред N.Êåëåìåø Корректор T.Ñêâîðöîâà

Заказ 5301/49 Тираж 923 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Л(-35, Раушская наб.,д.4/5

Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектная,4

Устройство работает следующим образом. Электронный пучок, проходя вдоль оптической оси микроскопа, отклоняется на определенный угол обмотками кольца 1, а затем обмотками кольца 2 — в противоположном направлении. Соотношения токов и обмотках таковы, что пересечение электронного пучка и исследуемым участком объекта происходит на оптической осн микроскопа. При смене объекта клапан 3 переводят вращением ручки 8 влево до такого пОложения, при котором объектодержатель 13 может быть вынут с помощью штока 14 и помещен во вспомогательную камеру 4, после чего клапан 3 вновь переводят в рабочее положение. В этом положении вспомога-. тельная камера 4 может быть заполнена воздухом, и объектодержатель можно вынуть из микроскопа.

Описанное устройство имеет простую конструкцию, так как в ней отсутствует механизм перемещения и вращения колец. Это позволяет исключить операцию юстировки при смене объекта, что упрощает в целом эксплуатацию электронного микроскопа.

Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главной оптической осью микроскопа и жестко связанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана, о т л и« ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения его конструкции и эксплуатации за счет исключения юстиронки при смене объекта, отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном.

Источники информации, принятые

2О во внимание при экспертизе

1. Пнлянкевич A.Í., Климовицкий А.И.

Электронные микроскопы, Киев, Техника, 1976, с.71.

2 . Патент Японии М 2 3307, 25 кл. 990 31, опубли к. 19б 8.