ИВАНОВ ЛЕОНАРД СТЕПАНОВИЧ

  ОЙКСАЛЙЕ КЗОБРЕТЕНИЯ о»687292 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3аввЛеио 170177 (21) 2442754/25-08 (g >) )

  СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ПРОДЕССОМ КОНДЕНСАЦИИ ХЛОРИДОВКРЕМНИЯ, заключающийся в ступенчатом низкотемйературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода зсладагента ,. в конденсаторе в зависимости состава парогазовой смеси на ЕСХоде конденсатора и давления парогазовой смеси на шлходе из него, о т л и ч аю щ и и с я тем, что, с целью поиашения извлечения трихлорсилана в конден...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЙ В ПРОТОЧНОМ РЕАКТОРЕ , содержащее источники газов, каждый из которых через последовательно включенные соответствующие стабилизатор давления, измеритель расхода и клапан соединен с входом в реактор, выход которого подключен к линии сброса и нейтрализации через последовательно включенные заслонку, высоковакуумньй затвор, азотную ловушку,...

  Назначение: к области получения особо чистого поликристаллического кремния, используемого в качестве исходного материала в полупроводниковой технике путем термического разложения смеси трихлорсилана с водородом на кремниевых подложках , установленных вертикально в реакторе, при пропускании через них электрического тока с образованием смеси ди-, три-и тетрахлорсилана в качестве по...