ДЕГТЕВА ВАЛЕНТИНА ЕФИМОВНА

  ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик »696дбО К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.05.78 (21) 2615199/18-25 (g() Щ f(q Н 01 J 29/10 с присоединением заявки Ж Государственный номнтет СССР па делам изобретений н атнрытнй (23)ПриоритетОпУбликовано 05 11. 79. Бюллетень 43. Дата опубликования описания 08.11.79...

  О rI И С А Н И Е ()940252 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски к Социалистические Республик (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09. 04. 80 (21) 2919357/18-2 t с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.06,82, Бюллетень № 24 Дата опубликования описания 30 . 06 . 82 (5! )М. Кл. H 01 J 9/227 3Ъеудврстеаиный камнтет СССР ю денем...

  Использование: изобретение может быть использовано в пленарной технологии производства полупроводниковых приборов для получения пассивирующих покрытий в интегральных схемах, диэлектрических пленок тонкопленочных электролюминесцентных структур и т.п. Сущность: изобретение позволяет в результате введения кислорода в газовую аргоно-азотную смесь ВЧ магнетронного разряда при распылен...