Ежовский Ю.К.

 Способ изготовления тонкопленочного конденсатора, включающий нанесение слоя оксида тантала или ниобия и слоя оксида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик, слой оксида кремния наносят многократной попеременной обработкой слоя оксида тантала или ниобия при температуре 100 - 180oC в вакууме парами четыреххлористого кремния и воды, причем толщина слоя о...

 Изобретение относится к получению защитных полимерных покрытий на металлах и неметаллах и может быть использовано в производстве изделий радио- и электронной техники. Изобретение позволяет повысить физико-механические свойства покрытия за счет циклической обработки подложки парами пергидроля и оксихлорида ванадия 30 - 60 с при Р = 133 - 13300 Па и Т = 20 - 150°С при количестве циклов 2 -...