Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Патент 699949
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора
Реферат
Способ изготовления тонкопленочного конденсатора, включающий нанесение слоя оксида тантала или ниобия и слоя оксида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик, слой оксида кремния наносят многократной попеременной обработкой слоя оксида тантала или ниобия при температуре 100 - 180oC в вакууме парами четыреххлористого кремния и воды, причем толщина слоя оксида кремния составляет 10 - 100