Елункина З.А.

 Способ контроля герметичности теплообменного аппарата в процессе ректификации хлорсиланов путем измерения технологического параметра на входе и выходе аппарата, в который подают охлаждающий агент, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь готового продукта и предотвращения загрязнения его примесями, измеряют рН охлаждающего агента на входе и выходе теплообменного аппарата, по разно...

 Способ управления процессом ректификации в процессах очистки хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в дефлегматоре в зависимости от суммарного расхода флегмы и дистиллята, удаления абгазов из дефлегматора и отбора их в смеситель, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов за счет повышения точности регулирования, расход удаляемых из дефлегматора абгазов...

 Способ автоматического управления процессом ректификации хлорсиланов путем регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам и регулирования расхода абгазов, выходящих из конденсатора, отличающийся тем, что, с целью уменьшения потерь хлорсиланов с абгазами, выходящими из конденсатора, за счет точности регулирования, расход абга...

 Способ управления процессом ректификации хлорсиланов путем измерения разности температур абгазов на выходе и охлаждающей воды на входе конденсатора, регулирования расхода охлаждающей воды в конденсаторе в зависимости от его нагрузки по конденсируемым продуктам, регулирования расхода абгазов, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода готового продукта высокого качества за счет повыш...

 Способ управления процессом регенерации водорода из парогазовой смеси в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода хладагента в зависимости от температуры парогазовой смеси на выходе вымораживателя, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода регенерированного водорода, дополнительно изме...

 Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, отходящей от печей водородного восстановления в производстве полупроводникового кремния, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и регулировании расхода исходного хладагента, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода регенерированного водорода, увеличения извлечени...

 1. Способ выделения дихлорсилана из парогазовой смеси производства полупроводникового кремния путем двухступенчатой низкотемпературной конденсации хлорсиланов при температуре на первой ступени -65 oC -70oC с выводом целевого продукта с второй ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения дихлорсилана в конденсируемый продукт и повышения в нем концентрации дихлорсила...

 Способ управления процессом непрерывной регенерации водорода из парогазовой смеси, заключающийся в ступенчатом низкотемпературном охлаждении парогазовой смеси и распределении общего потока хладагента регенерированного водорода перед вводом его в очередной теплообменный аппарат на два потока, один из которых пропускают через теплообменник, а другой направляют по обводному каналу в зависимо...